Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9016196 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC
ID: 9016196
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Oxide etcher, 8" Chamber / ATC 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC est un équipement de pointe de graveur/asher utilisé pour le marquage de haute précision sur une grande variété de substrats. Il combine un système de dépôt sous vide, le chauffage du substrat, le contrôle incrémentiel de la largeur de la ligne et d'autres caractéristiques avancées pour offrir des performances exceptionnelles de gravure et de cendrage. L'unité est conçue pour accueillir des substrats jusqu'à 314 mm et peut accueillir des dessins jusqu'à 256 mm de large. La machine de dépôt sous vide est un procédé très efficace où plusieurs couches de matériaux sont déposées sur le substrat en fonction de leurs besoins. Pour ce faire, on utilise une source de courant continu haute tension et une borne à filament chauffant un matériau cible pour induire l'évaporation ou la pulvérisation du matériau sur le substrat. Le matériau source est ensuite fondu ou vaporisé à la température du substrat par un gradient de pression assisté d'un faisceau d'électrons. Ceci assure un dépôt précis, uniforme et répétable de couches multiples sur le substrat. TEL TE 8500 ATC dispose d'un outil avancé de contrôle automatique des étapes (ASTC) qui permet de contrôler précisément les largeurs de lignes et les épaisseurs de couches sur l'ensemble de l'échantillon. Cet actif fonctionne en surveillant constamment la vitesse de gravure et en ajustant la profondeur de gravure pour maintenir une épaisseur uniforme pour toutes les couches de motifs sur le substrat. Avec ce modèle, des largeurs de ligne aussi petites que 50nm peuvent être atteintes de façon cohérente. L'équipement ASTC permet également une commutation rapide entre les processus de gravure et de cendre, sans intervention manuelle. De plus, le TE 8500 est équipé d'un système de spectroscopie optique d'émission (OES) qui utilise un laser pour générer un faisceau diffusé hors de la surface du substrat. Cette lumière diffusée est ensuite envoyée à travers un filtre optique et mesurée pour déterminer la profondeur de gravure ou de cueillette de la couche de traitement. Ce procédé permet un contrôle fin des largeurs des motifs. TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC est adapté à une variété d'industries, telles que les cartes de circuits imprimés, les écrans, la nano-électronique et la fabrication de semi-conducteurs. Sa puissante combinaison de balisage de haute précision, de facilité de fonctionnement et de contrôles automatisés en font un excellent choix pour toute application nécessitant une gravure ou un cendrage précis. La machine est disponible avec des options de montage vertical ou horizontal, permettant une flexibilité et une intégration accrues dans une grande variété de processus.
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