Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9148201 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC est un graveur/asher conçu avec la technologie de pointe de l'industrie pour fournir des performances de traitement avancées. La machine est équipée d'un seul piédestal, lui permettant de traiter jusqu'à 8500 plaquettes par heure, tout en respectant les spécifications de surface et de profil de bord serré requises pour le traitement avancé des appareils. De plus, l'équipement peut être configuré pour la gravure humide ou sèche. Ses capteurs in situ avancés sont conçus pour détecter avec précision et optimiser le processus de gravure et de cueillette afin de maximiser les performances de gravure et de cueillette et de minimiser la génération de particules. Le système est également équipé d'une fonction de nettoyage avancée, qui contribue à assurer la qualité du processus de gravure et de cueillette. La machine dispose également d'un moniteur d'épaisseur de couche qui peut détecter le niveau de résidus laissés sur la plaquette après la gravure ou la cendre, empêchant la surgravure ou le surgravure accidentelles. En surveillant constamment la durée et la qualité du processus de gravure ou de cueillette, il peut maintenir une vitesse de gravure/cueillette constante, offrant aux utilisateurs une fonction de gravure/cueillette fiable et répétable. TEL TE 8500 ATC est une unité entièrement automatisée conçue pour faciliter le fonctionnement. Il peut être programmé pour effectuer la gravure ou l'ashing pour des applications et des matériaux spécifiques, et stocke automatiquement des données pour des analyses de processus et de performance pour des résultats plus rapides et plus précis. La machine dispose également d'une option de connectivité à haut débit, ce qui la rend facile à connecter avec d'autres systèmes TE pour l'automatisation de la production de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC offre des performances de gravure/cueillette avancées avec des résultats très reproductibles et fiables.
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