Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #293642894 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC est un graveur/asher conçu pour enlever des matériaux d'un substrat, tels que des plaquettes semi-conductrices ou des écrans plats, utilisant une gravure plasma, une gravure ionique réactive ou une pulvérisation physique à l'aide d'argon, d'oxygène, d'azote ou d'autres gaz plasmatiques. Il est conçu pour un débit élevé avec sa capacité à traiter jusqu'à quatre substrats de 300mm de diamètre simultanément. TEL TE 8500 PATC offre une large gamme de fonctionnalités et de fonctionnalités, y compris la gravure et l'ashing de précision, le contrôle et l'automatisation des processus, la gestion simplifiée des recettes et des données et le traitement à basse température. L'équipement intègre une source haut de gamme, un générateur de plasma et une source d'énergie RF pour garantir des résultats de gravure très performants, reproductibles et fiables. Le système fournit également un environnement à vide élevé avec une basse pression de base de 10 mTorr et un cycle de pompage rapide avec une pression de traitement comprise entre 5 mTorr et 250 mTorr. L'unité d'imagerie optique haute résolution avec capteur d'imagerie par faisceau d'ions (IBIS) est conçue pour fournir une rétroaction continue sur le processus de gravure afin d'assurer une gravure uniforme. En outre, il offre un haut degré d'automatisation avec chargement et déchargement automatisé de plaquettes/substrat, ainsi que l'ETCH Index Control (EIC), qui permet de faire fonctionner la machine en parallèle avec d'autres systèmes de gravure, tout en assurant l'accès et le contrôle de tous les paramètres. TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC a une faible empreinte et est conçu pour être facilement intégré dans une usine. L'outil offre une consommation d'énergie efficace avec son atout d'échappement intégré, qui empêche le refoulement, et est conforme aux réglementations de sécurité dans différents pays. Il fournit également une interface conviviale, ainsi qu'un guide d'opération facile à suivre, pour permettre aux utilisateurs de configurer et d'utiliser rapidement le modèle. En outre, l'équipement fournit une large gamme de recettes, qui peuvent être personnalisées et sauvegardées, permettant aux utilisateurs de répéter sans effort un processus et de minimiser le temps de configuration. En résumé, le TE 8500 PATC est un produit performant, économique et facile à utiliser pour le traitement des plaquettes et des substrats. Son contrôle automatisé des processus, sa capacité à basse température et sa facilité d'intégration en font un système idéal pour une large gamme d'applications de gravure et d'ashing.
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