Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #73160 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC est une machine de graveur/asher conçue pour la génération sur place de matériaux semi-conducteurs composés tels que l'arséniure de gallium d'aluminium (AlGaAs). Cette machine dispose d'un procédé de gravure/gravure TEL 8500 haute performance, qui est utilisé pour créer des dispositifs semi-conducteurs personnalisés. TEL TE 8500 PATC se compose d'une unité de base qui abrite TOKYO ELECTRON 8500 gravure/gravure et plusieurs composants de prétraitement semi-conducteurs. L'unité de base contient intrinsèquement une chambre à vide, un étage mécanique, un contrôle de capteur et des systèmes d'acquisition de données. L'unité de base se connecte également à plusieurs composants externes de prétraitement, tels qu'une pompe à vide, une tige de transfert et l'outil TEL/TOKYO ELECTRON 8500 lui-même. La partie chambre à vide de TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC permet un procédé de gravure/cendrage tolérant aux fuites qui utilise un gaz de gravure/cendres secondaire. Ce mode opératoire à double gaz expose le substrat à une atmosphère de gaz réactif avec minimisation du dégazage du substrat, ce qui conduit à un processus de gravure/ashing répétable et produisant des substrats généralement exempts de défauts. L'étage mécanique contenu dans TE 8500 PATC permet d'éliminer avec précision les matières indésirables de la surface d'un substrat. L'étage est couplé à plusieurs actionneurs et capteurs commandés par ordinateur, qui permettent une manipulation et une gravure/cueillette automatiques précises. De plus, la position de l'étage mécanique peut être facilement surveillée et ajustée pendant le processus de gravure/cueillette afin d'assurer la précision et l'efficacité. L'équipement de contrôle de capteur TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC est utilisé pour surveiller et rétablir la précision du processus de gravure/ashing en fournissant des commentaires au contrôleur de processus. Cette rétroaction peut être utilisée pour identifier les conditions anormales qui peuvent être présentes, telles que l'uniformité réduite de gravure/cueillette ou les fluctuations de la vitesse de gravure/cueillette. Cette unité permet également de minimiser la possibilité d'une défaillance de gravure/ashing due à des conditions imprévues. La machine d'acquisition de données TEL TE 8500 PATC est utilisée pour enregistrer et afficher tous les différents paramètres de processus pour le processus de gravure/ashing, tels que la température du substrat, le débit de gaz et la pression, etc.. Ces données sont stockées et peuvent être utilisées pour analyser le processus de gravure/cueillette et pour ajuster les paramètres afin d'optimiser la qualité du processus de gravure/cueillette. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC est un outil de gravure/ashing sur site extrêmement avancé pour la génération personnalisée de semi-conducteurs composés. En intégrant une chambre à vide, un étage mécanique, des moyens de contrôle des capteurs et un modèle d'acquisition de données, cette machine fournit un processus de gravure/cueillette efficace tout en maintenant un environnement de travail sûr et la précision de la gravure/cueillette.