Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148198 à vendre en France
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TEL TE 8500 (S) ATC est un graveur/asher très avancé utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher de nouvelle génération, à haut débit et haute performance, conçu pour traiter des processus pour un large éventail d'applications. L'équipement utilise une combinaison du module de traitement des semi-conducteurs de particules neutres (NPS) et d'un sous-système multipiège à électrons élevés (MET) pour obtenir de faibles taux de gravure, une uniformité et une qualité supérieure des caractéristiques gravées. L'unité NPS se compose d'une cellule optique tournante d'émission (OEC) et d'un analyseur de masse, qui capturent et analysent les particules dans les gaz de procédé pour gravure ou cueillette. Cette machine est capable de travailler avec différents gaz, permettant un contrôle et une régulation précis du processus de gravure et de cueillette. L'ATC TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) comprend également un mécanisme d'arrêt de gravure à champ magnétique avec une précision de vitesse élevée, qui permet à l'outil de fonctionner de manière déterministe et fiable. La chambre de procédé peut fonctionner efficacement avec des gaz de traitement à faible réactivité, ce qui permet un meilleur contrôle de la vitesse de gravure et de l'uniformité. L'actif supporte également de très grands substrats, ce qui le rend idéal pour les processus de production à grande échelle. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC supporte également une large gamme de températures de substrat, du vide aux hautes températures, ce qui le rend adapté à une variété de procédés. Le modèle est équipé d'une variété de cloches et de sifflets, y compris une interface graphique conviviale, des séquences d'outils de pointe pré-programmées, la gestion des erreurs, la gestion avancée des recettes et les capacités de débogage logiciel. Il est également équipé d'une puissante plate-forme de contrôle avec un grand panneau d'affichage numérisé et une base de données de processus personnalisable conçue pour répondre aux exigences et aux processus spécifiques du client. En outre, TEL TE 8500 (S) ATC est conçu avec la fiabilité des performances et la fonctionnalité en tête, et est livré avec une gamme d'options, telles que plusieurs chambres, les températures programmables de gaz et de chambre, et la gestion hors ligne des recettes. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC est un graveur/asher robuste et avancé conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il dispose d'un design modulaire, et son haut débit et l'uniformité améliorée des fonctionnalités permettent des cycles de processus de production plus efficaces. Hautement fiable et personnalisable, l'équipement est bien adapté à une variété d'applications et est un excellent choix pour les entreprises de semi-conducteurs qui cherchent à augmenter leurs capacités de production.
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