Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148200 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC
ID: 9148200
Style Vintage: 2001
Oxide etcher 2001 vintage.
TEL TE 8500 (S) ATC est un équipement de gravure avancé conçu pour la production de systèmes microélectromécaniques (MEMS) et d'autres petits composants sensibles. Il est la norme de l'industrie dans les chambres de gravure à plasma et est réputé pour sa précision et son débit. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC est un système multi-chambres, avec une chambre de processus qui intègre jusqu'à quatre sous-chambres. Il contient un certain nombre de fonctionnalités avancées qui lui permettent d'obtenir un contrôle de processus serré et la répétabilité, tout en minimisant les dommages des composants. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC comprend une unité de distribution de gaz avec une boîte à gaz étanche au vide qui assure la stabilité du gaz par remblayage et mélange des gaz à l'intérieur de la machine ainsi que l'alimentation en gaz de l'extérieur. Cela permet d'assurer des propriétés de film répétables et des taux de gravure. Le procédé de gravure fonctionne habituellement en appliquant un champ électrique pour créer du plasma et diriger le plasma sur la surface du composant. TEL TE 8500 (S) ATC contient également un mandrin supérieur avec des capteurs qui permettent un contrôle précis de la température et de la pression, fournissant des résultats de gravure fiables et reproductibles. Le mandrin supérieur est conçu pour assurer une température uniforme à travers le composant et la planéité est maintenue dans le temps à une tolérance de 1-3 microns pour le substrat et de 4-10 microns pour les plaquettes double face. Un outil de nettoyage au niveau de la plaquette dans le mandrin supérieur permet également de minimiser l'accumulation de particules ainsi que les matériaux sélectifs. En outre, TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC dispose d'un chargeur auto-aligneur qui permet un transfert efficace des plaquettes entre la chambre et le loadlock. Ceci évite les blessures ou la contamination des substrats. Pour plus de sécurité, l'actif est équipé de nombreuses fonctions de sécurité intégrées qui peuvent automatiquement arrêter le processus si nécessaire. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC est un graveur/asher de pointe conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes des fabricants de semi-conducteurs. La chambre est capable de fournir des résultats de gravure précis et répétables avec des dommages minimaux aux composants. Le modèle assure également l'efficacité de la production et la sécurité de l'utilisateur. La combinaison de caractéristiques avancées et de sécurité fait de TEL TE 8500 (S) ATC un choix idéal pour une production à haut volume.
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