Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9293867 à vendre en France
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ID: 9293867
Taille de la plaquette: 8"
Oxide etcher, 8"
Chiller missing
1996 vintage.
TEL TE 8500 (S) ATC etcher est un équipement de microfabrication utilisé pour le transfert de motifs et la définition de motifs. La série TE 8500 est un instrument de pointe conçu pour diverses applications de la technologie des semi-conducteurs. Le système fonctionne à des températures ultra basses et des fonctions de coupe fines, ce qui se traduit par un faible coût de propriété. Ses capacités d'oxydation et de planarisation permettent aux clients de définir avec plus de précision et de fiabilité les caractéristiques microscalaires et nanométriques. Le TE 8500 etcher dispose d'un contrôleur automatique de réglage avancé (ATC) qui optimise automatiquement les paramètres de gravure et d'enlèvement de matériel. Il offre également une gamme de modes opératoires, tels que le procédé modulé chimique, qui peuvent être utilisés pour affiner la rugosité de surface. Le logiciel de contrôle TE 8500 est conçu avec une interface utilisateur graphique et des diagnostics intégrés pour simplifier l'accord et le fonctionnement de l'unité. La machine génère des historiques de temps et d'énergie pour la surface gravée et planarisée de la plaquette. Les serrures de charge de précision TE 8500 offrent un environnement propre et non contaminé pour les plaquettes en cours de traitement et offrent un transfert en douceur entre le bord de la plaquette et la chambre de traitement de la plaquette. Une caractéristique de sécurité unique de l'etcher TE 8500 est ses capacités intégrées de nettoyage des sources d'ions. Cela permet de s'assurer que les produits chimiques de gravure et les lignes de dépôt sont sûrs et exempts de contamination par les particules pour un meilleur processus de gravure plus fiable. Le TE 8500 est disponible sur les plateformes 1.2M, 2M et 3M. Toutes les plates-formes disposent de systèmes de vision Cognex intégrés pour la détection et l'alignement automatique des plaquettes. Les plates-formes 2M et 3M disposent également de la capacité de mesurer les dimensions critiques. Dans l'ensemble, l'etcher ATC TE 8500 (S) est un choix idéal pour la technologie de microfabrication et de semi-conducteur. Sa taille compacte, son faible coût de possession et ses fonctionnalités avancées en font un excellent choix pour les clients qui cherchent à optimiser leurs processus de production.
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