Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293634691 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 293634691
Taille de la plaquette: 8"
Dry etcher, 8".
TEL Limited (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 est un équipement Etcher/Asher conçu pour les procédés avancés de gravure et de dépôt de plasma dans les industries des semi-conducteurs et des panneaux plats. Le système a été mis au point pour réduire les coûts de développement et de fabrication des procédés tout en obtenant un débit et une précision plus élevés que les systèmes classiques. TEL TE 8500 peut traiter plusieurs substrats à la fois, combiné à une source de plasma haute densité jusqu'à 25 emplacements, et est optimisé pour effectuer des opérations de gravure de précision et de dopage. L'unité est équipée de technologies avancées de contrôle de la température et de visualisation des processus pour surveiller et optimiser les conditions de traitement afin d'améliorer l'efficacité et l'uniformité des processus. Il est également capable d'accueillir une grande variété de diamètres de plaquettes, de tailles de substrat et de recettes de processus. TOKYO ELECTRON TE 8500 utilise une technologie exclusive de mandrin flottant qui évite les contraintes thermiques locales, assurant un contrôle optimal de la température et la précision pendant le fonctionnement en continu. Il est en mesure de gérer plusieurs chambres de processus avec un alignement sans lacunes pour assurer une distribution uniforme des décharges de processus. La machine peut également effectuer des mesures de température de chaque mandrin dans la chambre de graveur/asher avec une latence de seulement 1 milliseconde et une stabilité de température supérieure à 1 ° C Ce contrôle de température de haute précision est crucial pour assurer un rendement plus élevé et une durée de vie plus longue des plaquettes dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. La norme TE 8500 intègre également un certain nombre d'outils avancés de contrôle et de surveillance des procédés plasmatiques afin d'assurer un procédé de gravure et de dépôt hautement fiable et reproductible. Il utilise l'analyse spectrale pour fournir une caractérisation en temps réel du plasma, permet d'ajuster les paramètres plasmatiques en quelques clics seulement, et fournit un suivi visuel des processus dans l'éditeur de recettes pour suivre et analyser les progrès du processus. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 est capable d'enregistrer à haute résolution les processus de gravure et de dopage, et permet aux utilisateurs de modifier facilement les recettes de processus pour optimiser les performances. En outre, les capacités d'interface et de télécommande conviviales de l'outil permettent une collaboration efficace entre les ingénieurs de processus, les testeurs de substrats et les opérateurs de processus, ce qui stimule le développement et l'amélioration des processus. Dans l'ensemble, TEL TE 8500 est un atout avancé de graveur et asher qui combine un contrôle efficace des processus, des performances fiables et des fonctionnalités conviviales pour permettre des opérations de gravure et de dopage de haute précision. Sa conception robuste et ses capacités de contrôle de processus de haute précision en font un choix idéal pour les procédés de production de semi-conducteurs et de panneaux plats.
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