Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758442 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 de TEL est un outil de graveur/asher de pointe. C'est un équipement hautement automatisé conçu pour produire un large éventail de processus avec une grande précision, même sur les surfaces de plaquettes. Cela le rend parfait pour la photonique avancée et la fabrication de MEMS. TEL TE 8500 utilise un environnement entièrement intégré pour le développement de processus quatre adhésifs de substrat améliorés et, par conséquent, une répétabilité de superposition améliorée et un traitement en plusieurs étapes. Cet etcher/asher intègre également un système avancé de verrouillage de charge avec la capacité de manipuler une variété de tailles de plaquettes, de standard à des applications à grande échelle. TOKYO ELECTRON TE 8500 intègre des technologies telles que Stealth-Technology, qui fournit un robot de faible profil et des taux d'erreur minimisés pour le chargement du substrat. Il intègre également High Low Temperature Wafer Transfer et un contrôle de température ultra précis pour une gravure fiable. L'outil est capable de gérer des temps de gravure d'impulsions très précis jusqu'à une précision de dix µS. L'outil offre un cycle continu d'amélioration de la gravure basé sur le contrôle de la densité. Le TE 8500 offre des performances de nettoyage en chambre continue ultra-précises, est équipé d'un module inertiel et offre également des fonctions d'épuration et de dégazage. Il a la capacité tridimensionnelle d'identifier des cartes de plaquettes pour une variété d'applications et une unité redondante de détection et de manipulation des plaquettes. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 offre une excellente répétabilité et stabilité grâce à l'utilisation d'une machine exclusive d'extraction de gaz et d'une série d'interface utilisateur permettant l'édition et l'exécution de recettes. Équipé d'un matériel spécifique pour l'intégration et la technologie de faisceau ionique, TEL TE 8500 offre également une large fenêtre de processus et une résolution de haute précision au niveau du nanomètre. Cet outil etcher/asher spécialisé est un excellent choix pour produire une large gamme de procédés complexes associés à la fabrication de semi-conducteurs. Il est très précis, offre répétabilité et stabilité pour une variété d'applications de fabrication et est capable de gérer des projets standard et de grande envergure. L'utilisation des technologies d'automatisation de haute précision de TOKYO ELECTRON TE 8500 en fait un excellent choix pour les applications les plus exigeantes.
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