Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9059245 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 est un équipement de graveur/asher de pointe conçu pour des procédés de fabrication de semi-conducteurs à grande échelle. Il est capable de graver ou de soutirer des échantillons sur la taille de la plaque et de la matrice individuelle avec un débit et une précision élevés. Le système intègre une conception avancée de porte-substrat ainsi qu'une unité de chauffage à chambre très efficace, permettant un contrôle précis de la température tout au long du processus de gravure. La machine supporte une large gamme de produits chimiques de gravure ainsi que des plasmas spécialement conçus pour améliorer l'activation de la surface et le nettoyage. TEL TE 8500 est livré avec un outil de profilage de plaquettes à haute résolution, à base d'interférométrie laser, permettant un contrôle de mesure à l'échelle du nanomètre. Sa chambre principale permet une excellente uniformité de gravure sur des plaquettes jusqu'à 200 mm, avec une planéité minimale des plaquettes et des défauts de particules. L'alimentation automatisée de l'outil en plaquettes, ainsi qu'une installation de descente propre et des systèmes d'échappement avancés, empêche la contamination des produits de gravure. TOKYO ELECTRON TE 8500 offre également un suivi précis du processus de gravure, avec des fonctions intégrées de contrôle du processus telles que la spectrométrie de masse en temps de vol et les jauges de flux ionique. C'est un atout de gravure vraiment polyvalent, fournissant un soutien à la fois pour le prototype et la fabrication de production.