Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9192932 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 9192932
Dry etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 est un appareil de gravure plasma de pointe conçu pour fournir des résultats de gravure précis et précis pour la production au niveau des plaquettes. Ce graveur à plasma dispose de plusieurs chambres, d'une interface avancée de contrôle des processus et d'automatisation pour une configuration et une télécommande faciles et d'un moteur en anneau solide pour piloter l'étage de la plaquette. Le système offre une excellente flexibilité pour le contrôle des processus et prend en charge le traitement des plaquettes simples et multiples. Ce modèle est doté d'une unité de gravure linéaire et radiale avec une chambre recouverte de nitrure de bore à 4 faces qui offre une conductivité thermique et une uniformité supérieures. L'étage de plaquette motorisé permet une gravure uniforme jusqu'à 14 plaquettes à la fois. Les paramètres de processus contrôlables, tels que les débits de gaz et la puissance du mandrin, sont contrôlés et analysés en temps réel pour garantir un environnement de gravure précis et les résultats de gravure optimaux. La machine peut également être équipée de caractéristiques spéciales, telles qu'une vitesse de gravure réglable et une détection de largeur maximale. TEL TE 8500 offre à l'utilisateur une variété d'options de gravure, y compris humide, sèche, alkyle, radicaux, fluor, chlore et bore. Les exigences du procédé, telles que la pression, la température, la concentration des espèces, les débits gazeux et les taux de gravure, peuvent être réglées pour obtenir les meilleurs résultats de gravure. L'outil utilise également un mandrin de substrat à température contrôlée pour éviter la surchauffe de la plaquette. Équipé des dernières fonctions de contrôle et de surveillance des processus, TOKYO ELECTRON TE 8500 offre une précision de gravure et une répétabilité maximales. Les paramètres du processus manuel peuvent être stockés et rappelés pour un processus de configuration facile. En outre, l'actif est conçu pour être conforme aux dernières réglementations de l'industrie et aux directives de sécurité. TE 8500 est un puissant outil de gravure plasma pour la production au niveau des plaquettes. Ses caractéristiques avancées garantissent d'excellents résultats de gravure, une uniformité et un contrôle précis des processus. Avec des caractéristiques de pointe comme le contrôle de la température, la concentration des espèces, les débits de gaz et le contrôle du mouvement des étages de plaquettes, c'est une solution de gravure idéale pour des applications à haut volume orientées vers la production.
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