Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9195649 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 est un équipement de gravure/asher à haut débit entièrement automatisé conçu pour les applications les plus exigeantes. Offrant un contrôle précis des processus et des réponses rapides, le graveur/asher répond aux besoins stricts des clients les plus exigeants. TEL TE 8500 est construit d'un corps de chambre à trois zones de température, une vanne d'isolement, un orifice d'échappement et un filtre thermique à trois niveaux pour la sécurité et la conformité environnementale. La chambre est usinée en acier inoxydable et présente une grande ouverture frontale, permettant un débit maximal d'échantillons. Une pompe duplex assure la sensibilité du processus tout en contrôlant les ions chlore et fluor. La chambre est équipée d'un mandrin électrostatique et est capable de manipuler un large éventail de substrats. TOKYO ELECTRON TE 8500 dispose d'une interface tactile permettant de programmer des recettes et de stocker des données. Le système supporte des opérations de gravure répétables avec la plus grande efficacité et précision. Il existe plusieurs modes de fonctionnement standard, y compris manuel, Expert-Etch, et Multi-Etch, chacun offrant différents niveaux de contrôle. Par exemple, le mode Multi-Etch peut fournir un contrôle indépendant des paramètres de gravure, qui peut être programmé avec des variations de temps de gravure, de température et de composition de gaz. Le TE 8500 est équipé de divers accessoires en option, tels qu'un capteur de température supérieure et inférieure, un épurateur d'ozone, une chambre propre ionique et une unité de surveillance à distance. En outre, la chambre de gravure dispose d'un port de vue à double vitrage qui permet d'observer l'intérieur du processus de gravure ou de cueillette. Ce port de vue permet également l'analyse en ligne et hors ligne des spectres de rayons X dispersifs en longueur d'onde. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 etcher/asher est conçu pour fournir des résultats fiables et reproductibles dans une variété d'applications, y compris la production de minces couches minces et de revêtements, la fabrication de plaquettes et de semi-conducteurs, et la lithographie. La machine offre un contrôle précis des paramètres de gravure et d'ashing, permettant des résultats reproductibles avec peu ou pas de maintenance.