Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9402436 à vendre en France

ID: 9402436
Taille de la plaquette: 8"
Dry etchers, 8" Chamber: EB.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 est un graveur/asher haute performance conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil fournit des résultats très précis à des vitesses élevées et à de faibles coûts. TEL TE 8500 intègre plusieurs flux de processus avec des capacités de gravure fines ou pures et permet une gravure de haute précision de petits motifs jusqu'à 0,25 μ m. TOKYO ELECTRON TE 8500 possède également de puissantes capacités de dépôt en couches minces, permettant des procédés de dépôt en couches minces avec un plasma à basse pression généré soit à partir d'hydrogène (H2), soit à partir de fluor (F2). Le système contient également une interface de contrôle graphique conviviale avancée qui permet une configuration facile du programme et un contrôle efficace de la recette. La machine peut être intégrée à d'autres équipements de fabrication pour s'assurer que les données sont échangées et que les flux de processus sont optimisés. Le TE 8500 est équipé de deux chambres de procédés, de deux serrures, d'une boîte d'alimentation en gaz et d'une source de plasma. L'approche appropriée est utilisée pour générer un plasma haute densité. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 a une conception spéciale pour optimiser les performances du procédé, avec une consommation plus faible de matériau de gravure, ainsi que réduire l'impact environnemental du procédé de gravure. La température dans la chambre de traitement est stabilisée passivement, et un système innovant de contrôle de l'anodisation (ACS) maintient la pureté de l'environnement. L'ACS évite également que la réaction d'anodisation soit affectée par l'évolution des conditions ambiantes. TEL TE 8500 est équipé d'une variété de capteurs pour surveiller les paramètres de processus in situ tels que la puissance plasmatique, la température et le degré de propreté de la chambre. Les moniteurs permettent à l'opérateur d'effectuer des ajustements en temps opportun afin d'obtenir des résultats optimaux. En outre, son système de contrôle avancé permet une configuration facile de la recette et assure un contrôle efficace du processus de gravure. TOKYO ELECTRON TE 8500 est un excellent choix pour ceux qui ont besoin d'une solution de gravure efficace. Sa précision, sa vitesse, son faible coût et son contrôle efficace des procédés en font un choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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