Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC #9148203 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC est un outil de traitement avancé pour les processus de gravure et de cueillette des plaquettes semi-conductrices. Sa technologie de pointe permet un meilleur débit, une excellente uniformité, une plus grande précision, une répétabilité rigoureuse et une contamination minimale des produits. La conception modulaire de la machine permet une large gamme de configurations et d'applications. La chambre de traitement de TEL TE 8500P ATC peut être divisée en trois sections distinctes : gravure, cendre et serrure de charge. L'étape de gravure utilise un gaz de procédé pour éliminer les métaux ou les diélectriques de la surface de la plaquette. L'ashing suit la gravure et utilise un gaz de procédé contenant de l'oxygène pour éliminer les résidus organiques, tels que la résine photosensible, de la surface de la plaquette. Le dernier tronçon est la chambre de serrure et est utilisé pour introduire des plaquettes dans le système, ainsi que fournir un environnement de vide pour le processus d'avoir lieu dedans. Les principaux composants de TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC comprennent un mandrin électrostatique actif, une source/tête de douche et une unité de combinaison de gaz. Le mandrin électrostatique maintient la plaquette pendant le traitement et agit comme un support en assurant un contrôle thermique afin de maintenir la stabilité de la température tout au long de la gravure et de la cendre. La source/tête de douche est utilisée pour générer des plasmas de processus, et se compose d'une carte de distribution de puissance RF, d'une source d'ions inductive et d'un ensemble de tête de douche. L'unité de combinaison de gaz mélange les gaz de traitement et les délivre dans la chambre à plasma. Il surveille également la différence de pression entre la chambre et son verrou de charge afin de maintenir un niveau de vide désiré. TE 8500P ATC est équipé d'un logiciel complet de contrôle des processus. Son intelligence système utilise le mode pilote automatique pour optimiser continuellement le processus de gravure et d'ashing. En outre, son ordinateur de bord peut stocker diverses recettes, ce qui permet d'utiliser diverses conditions et flux avec le simple toucher d'un bouton. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC est une station de gravure et d'ashing avancée qui apporte un haut niveau de débit et de précision à l'industrie des semi-conducteurs. Grâce à sa conception modulaire et à son logiciel sophistiqué, il peut offrir une excellente uniformité et répétabilité des processus, ainsi qu'une contamination minimale. Sa technologie de pointe permet un contrôle précis des paramètres critiques de gravure et d'ashing, ce qui en fait un excellent outil pour les applications semi-conductrices haut de gamme.