Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608637 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P est un graveur/asher ultra haute résolution conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement très polyvalent qui peut être utilisé pour traiter diverses applications telles que les photomasques, la lithographie de circuits intégrés (IC) et le dépôt de couches minces. TEL TE 8500 P dispose d'une grande taille de chambre qui permet le traitement simultané de plusieurs substrats avec un haut degré d'uniformité, tout en fournissant une solution haute performance pour les couches de dispositifs et d'autres caractéristiques. Son système de contrôle numérique assure un alignement précis et la précision de la sélection, tandis que les techniques avancées de dépôt permettent l'utilisation d'un large éventail de produits chimiques. TOKYO ELECTRON TE-8500 P dispose d'un système de vide avancé qui offre une grande précision et répétabilité de dépôt ainsi qu'une excellente uniformité. Les paramètres mesurables de la vitesse de gravure sèche (EDR) et de l'uniformité (ONU) de l'graveur sont contrôlés pour obtenir une résolution ultra élevée avec des dommages diélectriques minimes. Le contrôleur de l'etcher fournit un logiciel intuitif pour une configuration et un fonctionnement faciles, permettant un réglage fin avec une gamme de paramètres pour des applications spécifiques. En outre, TE 8500P comprend un système avancé et sophistiqué de reconnaissance de motifs qui permet un alignement précis du substrat et du motif dans les directions azimutale et radiale. La grande taille de la chambre de l'etcher permet également le dépôt et le confinement simultanés de plusieurs couches de métal, isolant ou semi-conducteur. Cela réduit le temps de traitement et assure la cohérence de l'épaisseur du film, de l'orientation des grains et des caractéristiques du dispositif sur toutes les couches. En outre, le TE-8500 P peut être utilisé avec une variété de gaz, y compris les porteurs fluorés (VFI), et est capable d'obtenir des dépôts de haute précision en combinaison avec une faible vitesse de gravure et une uniformité. L'etcher est également capable de fournir des processus à grande vitesse avec une productivité accrue, et est capable de manipuler jusqu'à 1 million de caractéristiques de motif par heure, assurant des rendements optimaux et un faible coût. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 P est un graveur/asher très avancé qui offre une précision, une précision et un contrôle de positionnement inégalés. Il offre une plate-forme polyvalente pour divers procédés de fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs, ce qui en fait un outil indispensable pour un large éventail de recherches et d'applications commerciales.
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