Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293668446 à vendre en France
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ID: 293668446
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Dry etcher, 6"
Process: Etch oxide
Main body
Load lock
Facilities connections
Dry pump
Gas panel
Chamber
Endpoint monitor
Power supply: 208VAC, 50 / 60 Hz
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asher est un équipement de lithographie de pointe utilisé dans la fabrication de circuits intégrés, de produits microélectroniques et d'écrans plats. Il utilise les lasers à dioxyde de carbone (CO2) comme principale source d'énergie pour créer des micro-structures dans les plaquettes de silicium. Le faisceau laser CO2 est généré rapidement et avec précision, avec une largeur d'impulsion inférieure à une nanoseconde et une fluence allant jusqu'à 1,8 J/cm2. Le faisceau laser peut être ajusté en fonction de la taille, de la forme et de l'intensité pour générer la micro-structure désirée. Le faisceau laser est dirigé et contrôlé avec une grande précision grâce à l'utilisation de deux miroirs galvanométriques intégrés et de deux lentilles de zoom. TEL TE 8500 P etcher/asher dispose également d'un système sophistiqué de reconnaissance des motifs. Cette unité utilise un algorithme de reconnaissance de motifs dans les images entrantes et de réglage du faisceau laser en conséquence. Cela garantit que le motif ciblé est reproduit avec précision dans la plaquette. TOKYO ELECTRON TE-8500 P offre aux utilisateurs un large éventail de procédés, allant de la gravure sèche au dépôt chimique en phase vapeur. Il peut être utilisé avec divers substrats, dont le silicium, le saphir et le germanium. Il offre également une gamme de procédés optimisés de matériaux, tels que la gravure humide, la gravure sèche, le recuit thermique rapide et le liftoff monobloc. En outre, la machine est capable d'identifier la plage optimale de niveaux et de paramètres de contrôle pour chaque processus particulier. Ceci permet de maximiser et de maintenir les rendements de production, tout en minimisant les erreurs et les défauts. TOKYO ELECTRON TE 8500 P est également compatible avec de nombreux systèmes robotiques, permettant aux fabricants d'utiliser l'automatisation pour la production. L'etcher/asher est équipé d'une large gamme de systèmes de maintenance et de surveillance des pannes, qui lui permettent d'être exploité en continu avec un grand succès. TE 8500P est un outil avancé de graveur/asher qui utilise un laser CO2 puissant pour créer des micro-structures précises dans les substrats. Il dispose d'une reconnaissance sophistiquée des motifs et de paramètres de contrôle optimaux, ce qui le rend idéal pour la fabrication de petits composants complexes. Il est également compatible avec un certain nombre de systèmes robotiques, permettant une production automatisée. De plus, ses nombreux systèmes de surveillance des pannes assurent un fonctionnement fiable et continu.
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