Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PATC #9236832 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PATC etcher/asher est une plate-forme de fabrication avancée conçue pour fournir le plus haut niveau de contrôle des processus et de précision pour les applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement dispose d'une plate-forme à haut débit et rentable avec la flexibilité d'exécuter une variété de processus de gravure différents. Le système utilise une technologie de gravure à sec de pointe pour fournir des motifs précis dans des zones aussi petites que 0,13 um. L'unité comprend cinq sous-systèmes de coeur : le contrôle plasma, la chambre de gravure, le scanner mécanique de haute précision, la machine de verrouillage de charge et l'outil à vide. L'actif de contrôle du plasma est utilisé pour surveiller et contrôler les paramètres du plasma, tels que la densité ionique, le rapport ions-électrons, la pression de la chambre et la température. La chambre de gravure est encastrée dans une chambre isolée afin d'offrir un environnement de travail propre. Le scanner mécanique de haute précision est utilisé pour contrôler avec précision le champ électrostatique entre la source et la cible, ce qui permet un réglage précis. Le modèle de serrure de charge est utilisé pour transférer rapidement des substrats de la chambre de transfert à la chambre de gravure. Enfin, l'équipement sous vide est utilisé pour s'assurer que l'ensemble est étanche à l'air et fonctionnel. Le système est conçu avec un haut niveau d'automatisation pour réduire les variables de processus et améliorer le débit. Chaque substrat peut être configuré avec des paramètres de gravure prédéfinis, permettant un processus de gravure continu et efficace. L'unité est équipée d'une plate-forme embarquée avec unité de contrôle de mouvement intégrée et algorithmes de processus de base pour s'assurer que chaque étape de processus est répété avec précision avec cohérence. La machine peut également être connectée à des équipements périphériques tels que des moniteurs de particules, des moniteurs de gaz, des systèmes de manutention de plaquettes et des serrures de charge, permettant une intégration dans la ligne d'usine et améliorant encore la productivité. La surface totale d'imagerie de l'outil TEL TE 8500PARTC est de 700 à 700 mm, ce qui la rend idéale pour les dispositifs semi-conducteurs de grande taille. L'actif bénéficie également d'un taux de répétabilité élevé de 99 %, assurant la production constante d'appareils de haute qualité à chaque tour. Le substrat peut être configuré pour graver dans n'importe quelle direction et orientation, et le contrôle automatisé du processus assure que des résultats précis et cohérents sont obtenus à chaque fois. TEL TE 8500PATC etcher/asher est un modèle avancé conçu pour offrir le plus haut niveau de précision et de contrôle des processus. Sa grande précision et sa répétabilité, combinées à un débit élevé, en font une solution idéale pour les procédés de fabrication complexes dans l'industrie des semi-conducteurs.