Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #155452 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE est un graveur/asher spécialement conçu pour les processus de gravure et de cendrage à haut débit. Il offre une précision supérieure avec une résolution maximale réalisable de 1,02 µm et 50 µm pour la gravure et le cendrage respectivement, ce qui conduit à une épaisseur de film plus mince. L'équipement est également capable de traiter un large éventail de matériaux, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium et le nitrure de titane, permettant la fabrication de dispositifs miniaturisés et de haute densité. TEL TE 8500PE a un débit de gaz élevé jusqu'à 2 500 sccm et jusqu'à quarante-quatre programmes de recettes à haut débit stockés dans sa mémoire interne, permettant aux utilisateurs de programmer et de changer rapidement entre différentes recettes. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE dispose également d'un puissant système d'exploitation embarqué avec une interface graphique conviviale, rendant la configuration de la recette et les réglages de paramètres faciles. D'autres fonctionnalités comprennent une double alimentation cathodique RF jusqu'à 7KW et une unité de surveillance des processus pour la collecte de données en temps réel. TE 8500PE est équipé d'une machine de transport automatisé de plaquettes à cassettes qui peut traiter jusqu'à 200 plaquettes à la fois, assurant un haut débit et des processus de haute précision. En outre, l'outil dispose d'une fonction de contrôle automatique pour surveiller et ajuster les paramètres de la recette pour la stabilité du processus. Le contrôle précis de la température, de la pression et d'autres paramètres de gravure et d'ashing est assuré par l'actif de contrôle en boucle fermée, permettant aux utilisateurs d'obtenir une répétabilité élevée. Outre les contrôles de processus, TOKYO ELECTRON TE 8500PE est également équipé de dispositifs de sécurité tels qu'un mécanisme de verrouillage de charge multiple et un bouclier de sécurité pour protéger l'opérateur contre le rayonnement. L'etcher/asher dispose également d'un cycle de nettoyage automatique et dispose d'un entretien rapide avec un design industriel optimisé qui réduit les coûts d'exploitation. Le TE 8500 PE est un graveur/asher idéal pour les processus de gravure et de cueillette de précision, offrant une précision et une répétabilité supérieures, un débit élevé, une large gamme de matériaux de procédé, des caractéristiques puissantes et des caractéristiques de sécurité.