Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643494 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE est un graveur/asher haute performance de nouvelle génération utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une performance de processus supérieure utilisant l'exploitation non-processus et la gestion automatisée du matériel. TEL TE 8500PE dispose d'une grande chambre de gravure de 300 mm, pouvant accueillir jusqu'à 8 plaquettes à la fois. Le graveur offre également un contrôle très précis des paramètres de gravure, y compris la vitesse de gravure, le nivellement, la forme libre, le profil de gravure et l'uniformité, ainsi que des niveaux de résistivité sélectionnables. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE utilise la technologie de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui produit une couche mince de film sur la surface de gravure. En ajustant la température et la pression, le procédé CVD peut être utilisé pour ajuster la réactivité chimique et la sélectivité du procédé de gravure. Cela permet à TE 8500 PE de créer des motifs avec des structures extrêmement fines et une taille réduite des fonctionnalités. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE offre également une large gamme d'options de processus, avec de multiples matériaux, y compris des procédés à faible teneur en k, organiques, dopés et capables de CMP. L'etcher comprend également des capacités avancées d'automatisation des processus, avec la cartographie des plaquettes en ligne, l'OCR, la surveillance des rendements et les options de traitement des données disponibles, permettant aux utilisateurs d'optimiser rapidement leurs processus et d'augmenter la productivité globale. TE 8500PE est capable de manipuler une gamme de différentes chimies de gravure, avec des procédés de gravure humide et sèche disponibles. Il peut être configuré pour les procédés RIE (Reactive Ion Etching) et DRIE (Deep Reactive Ion Etching), avec une variété d'options de chimie grâce à sa grande tête de douche chauffée, chambre en acier inoxydable durable, et le contrôle des gaz de processus réglable. TOKYO ELECTRON TE 8500PE est conçu pour faciliter l'utilisation et l'entretien. Le système dispose d'une interface conviviale, d'un affichage et de capteurs pour la commodité de l'utilisateur, ainsi que d'une suite d'utilitaires d'autodiagnostic et de maintenance à bord, permettant aux utilisateurs de dépanner rapidement et d'évaluer les résultats de gravure. Dans l'ensemble, TEL TE 8500 PE offre des performances de gravure de haute précision et une flexibilité de processus. Grâce à ses capacités d'automatisation avancées et à sa conception conviviale, le graveur/asher est idéal pour une gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs.