Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #9158083 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE
ID: 9158083
Taille de la plaquette: 8"
Oxide etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE est un graveur/asher qui combine un traitement plasma avancé avec une large gamme de capacités de gravure/cendres. Ce modèle est conçu pour offrir un traitement de qualité supérieure avec un temps d'arrêt minimal et des coûts d'entretien globaux réduits. Cet équipement dispose d'une technologie de paroi arrondie unique pour améliorer l'uniformité des gravures et est équipé d'un MFF™ (Générateur de Fréquence) qui assure des performances de gravure/cendres cohérentes. TEL TE 8500PE etcher/asher est équipé de SoftCath™ plasma, EMC™ source de faisceau d'électrons et de capteurs de sources de plasma avancés qui permettent une meilleure sélectivité et des taux de gravure plus élevés que les autres graveurs. Le système dispose également d'un support de recettes multiples, d'une automatisation des processus, d'une interface utilisateur intuitive et de la possibilité d'enregistrer des profils personnalisés. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE etcher/asher dispose d'une unité à vide élevé et d'une machine de distribution de gaz avancée qui permet un contrôle précis du débit de gaz. Cet outil a des températures de processus maximales allant jusqu'à 700℃ et des énergies ioniques élevées allant jusqu'à 30 eV pour une activation de surface maximale. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE etcher/asher est livré avec diverses options de surveillance et de contrôle de processus, y compris une surveillance de chambre en temps réel, un contrôle précis des conditions de processus, et des diagnostics embarqués. Cet atout est également compatible avec d'autres systèmes de graveurs/cendres et chambres de traitement de TEL et d'autres fabricants. Avec toutes ces fonctionnalités, TE 8500 PE etcher/asher est un choix idéal pour les organisations qui nécessitent des capacités de gravure/cendres avancées avec un temps d'arrêt minimal et des économies de coûts.
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