Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC #9194482 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC est un graveur/asher haute performance fabriqué par TEL. Il s'agit d'un équipement multi-chambres qui se compose de deux chambres séparées, l'une pour la gravure et l'autre pour la cendre. Ceci permet une variation de haut débit et de bas substrat à substrat. Le système dispose de plusieurs fonctionnalités avancées qui offrent flexibilité et facilité d'utilisation. La chambre de gravure du 8500S contient une source à trois zones contenant de l'oxygène, de l'hélium et des gaz de source à base de chlore pour une gravure optimisée de divers matériaux. La chambre asher est conçue pour traiter à la fois les couches métalliques et diélectriques en fournissant des niveaux précis de contrôle du débit de gaz. Le cendrier permet également de programmer et de contrôler le rapport quantité/débit de gaz pour toute opération de cendrage. Dans les deux chambres, le 8500S est équipé d'une chambre de gravure/cueillette configurable et d'une géométrie de plateau qui offre des performances de gravure/cueillette uniformes et répétables. En outre, l'unité dispose d'une interface logicielle conviviale qui permet un contrôle détaillé des paramètres du processus et le développement de la recette. TEL TE 8500S ESC dispose également de mesures de sécurité avancées telles qu'une machine de fonctionnement verrouillée et de protection de l'environnement, qui prévient tout type d'accident et garantit un environnement sûr. De plus, l'outil dispose de fonctions automatisées de détection et de correction des erreurs qui réduisent les risques d'erreurs de processus et d'actifs. Le 8500S utilise un environnement atmosphérique contrôlé sous vide pour assurer un environnement de gravure et de cueillette propre et exempt de contaminants. Le modèle comporte également un équipement d'injection de gaz, qui permet l'introduction de gaz étrangers tels que des radicaux ou des molécules comme le chlore ou le fluor. TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC est un graveur/asher très fiable, offrant aux utilisateurs la fiabilité, la vitesse et les hautes performances nécessaires à leurs usages industriels. La chambre est compacte et facilement intégrée à d'autres systèmes. Avec les traits avancés comme la détection d'erreur automatisée, le logiciel facile à utiliser et une chambre etching/ashing configurable, les ANNÉES 8500 ESC fournissent la gravure à l'eau forte efficace et précise et la performance ashing.