Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293608636 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293608636
Style Vintage: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Flat
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: ESC
Cassette, 6"
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V (R / Y / G / B)
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1, 2, 3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater and heater controller: Heater type
DAIHEN MEM-20SA Matcher
DAIHEN MFT-20SB Power splitter
VACCUM GENERAL CMLA-11 C/M (Baratron): 10 Torr
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-7440
SEIKO SEIKI STP-H600C-T107 TMP
GAP
DC HV Module
Gas module: P/C1
MFC / Gas1: O2 / 20 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas2: N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas3: AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas4: CF4 / 200 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas5: CHF2 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440
DAIHEN MFG-20SA P/C Power generator
LASEM TECH BCU-L152 Dual chiller
EDWARDS iQDP80 P/C Pump
EDWARDS iQDP80 L/L Pump
JOBIN YVON H-10VIS EPD
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S est un équipement de gravure-cendres de pointe qui est souvent utilisé dans le processus de production de semi-conducteurs. Il utilise une technologie de pointe pour fournir un niveau élevé de précision, de précision et de vitesse pour les processus de gravure et de cendrage. La conception innovante de TEL TE 8500 (S) permet des processus de gravure et de cueillette très automatisés et précis. Ceci est réalisé avec divers équipements, tels que des caméras de surveillance au niveau des plaquettes et des types spéciaux d'agents de gravure/cendres. En outre, le système peut être exploité à distance et peut être programmé pour effectuer différents processus de gravure/cendres rapidement et avec précision avec une entrée humaine très minime. De plus, le procédé est très efficace avec son procédé de gravure/cendres sous vide, ce qui diminue les dommages au substrat et améliore l'homogénéité des gravures. La machine est également équipée d'une gamme de capteurs, tels que manomètre total, capteur de teneur en O2 et moniteur d'épaisseur de film, qui permet une surveillance précise et précise du processus. En outre, l'unité est conçue pour un entretien facile, ce qui réduit les temps d'arrêt pour les lignes de production. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) est capable de travailler avec une large gamme de matériaux, tels que le silicium polycristallin et l'oxyde de silicium, les dispositifs bipolaires, CMOS et analogiques, permettant une plus grande polyvalence pour les lignes de production. Il peut également fonctionner avec une gamme de diamètres, tels que 200mm, 300mm, et 450mm tailles, ainsi que propose une gamme de supports de plaquettes, de 2 pouces à 8 pouces de plaquettes carrées. En ce qui concerne le contrôle des procédés, la norme TE 8500 (S) offre un large éventail d'options, telles qu'un meilleur contrôle des procédés et une surveillance limitée. La machine est également conçue en tenant compte de la sécurité de l'utilisateur, et certaines caractéristiques de sécurité, comme la première ligne de sécurité, peuvent être activées afin de protéger les opérateurs contre les dangers environnementaux. L'outil de gravure/ashere TE 8500 (S) est une solution fiable et flexible pour toute ligne de production, offrant une gamme de fonctions et de capacités difficiles à apparier. Sa conception avancée fournit des normes élevées de précision, de vitesse et de précision pour une variété de processus de gravure et de cueillette. Son fonctionnement à distance, son contrôle automatisé des processus et sa conception conviviale en font un outil très efficace pour toute ligne de production.
Il n'y a pas encore de critiques