Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293643118 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S
ID: 293643118
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Dry etcher, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S etcher/asher est un équipement avancé de gravure/cendres utilisé pour une variété de processus de gravure et de cendrage. Il s'agit d'un système statique de modification de processus capable d'ajuster les paramètres du processus de gravure et d'ashing en fonction des besoins spécifiques du client. Cette unité est capable de processus de gravure et de cendrage à basse température et haute résolution, ainsi que de traitement complexe en plusieurs étapes, et fonctionne avec un large éventail de matériaux. TEL TE 8500 (S) a une conception compacte qui comprend un four, un convoyeur, une serrure, une chambre de traitement et une machine de transfert de plaquettes. Il comprend également deux chambres de procédé de cendrage in situ, capables chacune de fonctionner indépendamment dans une configuration parallèle, qui permettent un contrôle précis des paramètres de procédé de gravure/cendres pour un large éventail de besoins de gravure et de cendrage. La chambre de procédés dispose de la capacité de traiter des plaquettes de 20pouces avec une pression maximale de 220 m Torr et la température jusqu'à 180℃. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) est équipé d'un outil de réglage automatique avancé qui permet aux utilisateurs d'ajuster facilement les paramètres du processus. Il dispose également d'un actif de contrôle de la distribution de gaz sélectionnable par l'utilisateur qui permet d'obtenir des paramètres de processus précis, ainsi que d'un modèle de surveillance avancé pour contrôler le processus de gravure/cendres. Il comprend également un certain nombre de dispositifs de sécurité tels que la détection de l'EDD, la protection contre les surpressions et la surveillance des fuites de gaz toxiques pour assurer un fonctionnement sûr. En plus de sa conception d'équipement sophistiquée, TE 8500S est également approvisionné avec une gamme de logiciels de processus avancés. Son logiciel Process Chemist permet aux utilisateurs de personnaliser et de peaufiner les recettes de processus au besoin, tandis que son logiciel Process Commander permet aux utilisateurs de contrôler les paramètres du système de diverses façons. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) est également compatible avec les systèmes SIEMENS et Agilent, permettant aux utilisateurs de suivre et d'analyser facilement les données unitaires. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) offre une variété de caractéristiques et de fonctions qui en font un graveur/asher polyvalent parfait pour une variété de processus de gravure et d'ashing. Sa conception avancée de la machine, ses caractéristiques de sécurité et sa gamme de logiciels de processus en font un choix idéal pour toute application de gravure et d'ashing.
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