Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9148390 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S est un système avancé de gravure et d'ashing conçu pour le traitement par lots de 150 plaquettes à la fois. Il dispose d'une architecture flexible avec des chambres de traitement de plasma indépendantes, des capacités de mouvement de chambre de traitement tridimensionnelles, et une large gamme de technologies de gravure et de cendrage. L'équipement utilise une plaquette simple et un traitement double face, avec un contrôle énergétique potentiel de haute précision et une surveillance des processus de haute qualité. Grâce à des alimentations RF et DC à faible bruit et à forte puissance, le système est capable de fournir des niveaux exceptionnels de répétabilité et d'uniformité. Il offre une résolution de gravure ultra élevée et un contrôle précis gravure par gamme ou gravure par étape avec une surveillance en temps réel de la gravure et de la cendre en mode en ligne et hors ligne. L'unité peut obtenir des résultats reproductibles dans un large éventail de dimensions et de configurations de plaquettes. Le TEL TE 8500 (S) dispose également de capacités de reconnaissance et de précision automatisées pour le mouvement et le positionnement des plateaux tridimensionnels afin d'assurer une flexibilité maximale. Il offre des fonctionnalités avancées de gestion des gravures telles que la protection des gravures, le contrôle des gravures rapides et le contrôle des arrêts rapides, assurant un traitement sûr des substrats délicats. Les moniteurs d'uniformité de processus innovants de la machine permettent une gravure plasma uniforme sur toute la surface de la plaquette. En outre, TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) offre un contrôle précis des processus de gravure, de cendrage et de dépôt et fournit des fonctions avancées de nettoyage et de désembuage des substrats. Il utilise le chauffage et le refroidissement des chambres de procédés avancés pour optimiser les performances de gravure. Enfin, il comprend un langage de recette puissant permettant un ajustement dynamique des paramètres du processus. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, le TE 8500 (S) est un système de gravure et d'ashing idéal pour un traitement par lots de haute précision pouvant atteindre 150 plaquettes à la fois. Il est capable d'obtenir des résultats reproductibles avec une grande précision et précision.