Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9194477 à vendre en France
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ID: 9194477
Style Vintage: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Notch
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: M-Type
Caassette: 6" Cassette
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V
Visual: R / Y / G / B
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1,2,3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater & heater controller: Heater type
Matcher: DAIHEN MFM-20SA
Power splitter: DAIHEN MFT-20SB
C/M (Baratron): 10 Torr vaccum general CMLA-11
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-4400RC
TMP: SEIKO SEIKI STP-H600C1
GAP
Gas module: P/C1
MFC / Gas1 (name/range/maker/model): CHF3 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas2 (name/range/maker/model): CF4 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas3 (name/range/maker/model): AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas4 (name/range/maker/model): HE / 1 SLM / STEC / SEC-7440MC
MFC / Gas5 (name/range/maker/model): N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
Generator:
DAIHEN MFG-20SA P/C Power
Chiller:
LASEM TECH BCU-L152 Chiller
Chiller type: Dual
Pump:
P/C Pump: EDWARDS IQDP80
L/L Pump: EDWARDS IQDP80
EPD: JOBIN YVON H-10VIS
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S est un graveur, ou asher, utilisé pour modeler précisément des photomasques et des substrats pour la fabrication de microélectroniques. Il est capable de gravure directionnelle, d'évacuation et de détermination du point d'extrémité avec une grande précision, ainsi que d'offrir un transfert de motif haute résolution du photomasque sur le substrat. TEL TE 8500 (S) est équipé d'un réglage automatique de la recette pour assurer des processus de gravure cohérents à chaque fois. Il présente une large gamme de températures de chauffage et de refroidissement substrat/masque, permettant son utilisation avec divers matériaux du silicium aux métaux, tandis que le procédé de graveur sec cryogénique supprime la nécessité de fournir des gaz supplémentaires ou des sous-produits coûteux. De plus, il est capable d'effectuer une gravure anisotrope, ainsi que de fournir une gravure d'impulsions. Ceci permet un lissage de surface dans le cas de l'or électrodéposition, ainsi que de petites par gravure. Cet etcher utilise également la technologie d'émetteur thermo-ionique de pointe pour contrôler le plasma et permettre une haute sélectivité dans le transfert du motif de gravure. Enfin, TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) propose un micro-pseudo procédé pour réduire la contamination de la zone de dépôt et de gravure. Cela se traduit par une durée de vie accrue du cendrier, et peut diminuer le besoin d'entretien et de réparations. Tout cela se combine pour faire de TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) un excellent graveur, ou asher, pour des applications de haute précision dans l'industrie de la microélectronique.
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