Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9269148 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S est un graveur/asher conçu pour fabriquer différents types de substrats en matériaux tels que des plaquettes de silicium, du quartz et des matériaux cristallins. Il est équipé d'un équipement de contrôle de haute précision et d'une source de plasma à haut débit. Ce système est capable de traiter le substrat avec une grande précision, fournissant un résultat de gravure supérieur. Il est équipé d'un régulateur de débit multi-gaz et d'une chambre de traitement multi-zones qui permet un processus de gravure précis et de haute qualité dans toutes les conditions cibles. Il est également conçu avec une unité de commande intégrée en boucle fermée avec un capteur de température de haute précision qui assure la stabilité et l'uniformité du processus. De plus, TEL TE 8500 (S) offre une capacité de fixation ultra haute résolution pour améliorer la fidélité et la sélectivité des motifs. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) dispose d'une source de plasma haute résolution avec une énergie ionique haute densité qui aide à créer des motifs de gravure uniformes. Il dispose également d'une machine de chauffage au niveau de la plaquette qui facilite un taux d'adhérence plus élevé et des motifs mieux formés. La machine permet le dépôt précis de couches d'épaisseur et de résistivité uniformes en utilisant des faisceaux ioniques de haute densité combinés à des effets de courant continu (DC) et de radiofréquence (RF). De plus, TEL TE 8500 (S) est conçu avec un outil de transfert automatique de plaquettes qui permet un chargement et un déchargement rapides et précis des substrats sans compromettre la stabilité du processus. Il est équipé d'un matériel de nettoyage automatisé haute performance qui assure un entretien efficace et des temps de cycle en ce qui concerne la propreté. Il supporte diverses chimies et possibilités d'automatisation pour de multiples substrats. TE 8500S offre d'excellentes performances de gravure, et convient pour des applications dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et la recherche. C'est également un outil idéal pour les procédés de dépôt et de gravure de couches minces pour les produits médicaux, automobiles, aérospatiaux et nanomatériaux.