Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9316073 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S est un graveur/asher avancé pour semi-conducteurs conçu pour offrir une précision et une productivité supérieures. Ce graveur/asher est adapté à une grande variété de procédés, y compris le recuit, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD), la pulvérisation et la gravure par faisceau d'ions. Il est livré avec des caractéristiques telles que le transfert de plaquettes à haute vitesse, le contrôle de recette multi-étapes, la détection automatique du point final, la gravure à bas revers et le contrôle de dose de haute précision. TEL TE 8500 (S) dispose d'une puissante chambre à vide, qui contrôle efficacement les conditions de processus pour une variété de processus de gravure tels que l'isolement ou la gravure profonde. Ce graveur/asher utilise la source d'alimentation à haute fréquence de type Magnetron pour fournir des performances de gravure de faisceau d'ions supérieures et plus uniformes. Il dispose également d'une grande variété d'injecteurs de gaz de source pour une gravure uniforme et propre, avec une rugosité de surface faible. Cet etcher/asher est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces en une seule fois. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive (GUI) pour faciliter le fonctionnement quotidien et la maintenance. Il dispose également d'un système d'inspection visuelle (VIS) qui aide à surveiller les étapes de traitement. En outre, ce graveur/asher dispose d'un système d'arrêt d'urgence et de multiples systèmes de sécurité en place pour garantir la sécurité des utilisateurs et des équipements. Il fournit également une source d'énergie très stable, avec un contrôle dynamique de la forme d'onde, pour obtenir un contrôle posologique plus précis. TEL TE 8500 (S) offre une précision et une répétabilité élevées pour les paramètres de processus de gravure, grâce à sa technologie de valve à deux étages. Il utilise également la reconnaissance avancée des impulsions pour fournir un ajustement immédiat et automatique au profil de gravure idéal. Cela permet à l'etcher de produire un rendement et une fiabilité extrêmement élevés pour les résultats de processus. Dans l'ensemble, le TE 8500 (S) est un graveur/asher haut de gamme qui offre une précision et une productivité supérieures. Il est idéal pour l'utilisation dans la R&D des semi-conducteurs et les processus de production qui nécessitent un niveau élevé de précision et de répétabilité. Il dispose d'une puissante chambre à vide et d'injecteurs de gaz d'approvisionnement avancés, de plusieurs systèmes de sécurité, d'une interface utilisateur graphique et d'un système d'inspection visuelle (VIS). Il est également équipé de détection de point d'extrémité automatique et de contrôle dynamique de la forme d'onde pour un contrôle posologique extrêmement précis.