Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #293638696 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K est un graveur/asher qui offre une précision, une répétabilité et un débit sans compromis pour le traitement des appareils critiques. Cet etcher est un équipement hautement automatisé, rapide et multi-stations conçu pour des performances supérieures dans les dispositifs semi-conducteurs de volume de production. Avec un procédé breveté de transfert anisotrope ultra-étroit et un graveur à haut débit à double faisceau, TEL FORMULA ALD High-K offre les plus hauts niveaux de précision, de répétabilité et de débit supérieur. L'architecture informatique distribuée du système offre un environnement outil-usine flexible qui est équilibré pour la réactivité, le débit et le coût. La conception exclusive du moteur de traitement de l'unité fournit aux utilisateurs un haut niveau de contrôle et la capacité de personnaliser les recettes de processus avec la plus large gamme de combinaisons de processus. La machine supporte également de nombreux formats de substrat, dont des plaquettes de 200mm et 300mm. Avec l'ALD High-K, les ingénieurs ont la liberté de concevoir des profils de performance uniques sans sacrifier la précision, le débit, la répétabilité ou la stabilité, grâce à l'architecture massivement parallèle de l'outil. L'ALD High-K est compatible avec diverses mesures des conventions de contrôle environnemental, intègre différents types et tailles de plaquettes pour une expérience de traitement optimisée, et est alimenté par une architecture de traitement multicoeurs. Les moyens de transport et de manutention de l'ALD High-K permettent une intégration des processus la plus profonde, de la préparation de surface au dépôt. Le processus d'automatisation minimise les retards et les perturbations causés par la manipulation du substrat tout en améliorant considérablement le débit, la précision et la répétabilité. Le contrôle d'équilibre exceptionnel du modèle réduit les risques de perturbation des substrats. Avec l'ALD High-K, les ingénieurs peuvent traiter des couches de quelques nanomètres d'épaisseur ou plus épaisses avec plus de précision et de débit. Bref, TOKYO ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA ALD High-K est un graveur/asher d'une précision, d'une répétabilité et d'un débit inégalés. Cet équipement offre la flexibilité et la capacité de personnaliser les recettes avec un contrôle inégalé, assurant un traitement de l'appareil supérieur et les niveaux de productivité les plus élevés.
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