Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9149552 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K est un graveur/asher conçu pour graver une variété de matériaux semi-conducteurs, y compris des matériaux diélectriques, des métaux et des alliages. La machine est un équipement de gravure compact et autonome qui offre la flexibilité d'un processus de gravure sur plaquette ou par lots. Il dispose d'une microbalance quartz-cristal intégrée pour la mesure d'ultra-précision du processus de gravure sur une plaquette, ainsi que la détection optique du point d'extrémité du matériau de la plaquette. TEL TELFORMULA ALD High-K offre un contrôle de processus avancé avec une gamme étendue de paramètres de processus, y compris le contrôle de puissance avancé, le taux d'oxydation thermique, les taux de gravure, la composition du gaz de gravure et le contrôle de la pression du gaz. Le système fournit également une interface utilisateur graphique conviviale (interface graphique) et un contrôle avancé des grappes basé sur les grappes pour de multiples processus. L'unité utilise un générateur RF coaxial linéaire, ce qui le rend capable de graver le matériau à une profondeur précise avec des dommages latéraux minimes. Cette fonctionnalité offre une plus grande uniformité et de meilleurs résultats d'imagerie. L'unité offre également un dépôt précis en couches minces pour produire des couches aux propriétés électriques adaptées et est équipée d'un ensemble d'outils complet pour faciliter la mise en œuvre de la lithographie optique. La source de gaz de procédé de la machine permet à l'utilisateur de contrôler la vitesse de gravure et de sélectionner le gaz le plus approprié pour un procédé sélectionné. Il est également équipé d'une unité de contrôle de polarisation RF pour fournir l'énergie ionique optimale pour le processus de gravure. TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K offre également un contrôle réglable de la température et de la pression pour assurer la cohérence du processus. De plus, la machine est conçue avec une machine de croissance thermique brevetée pour minimiser la production de particules à court terme et assurer un haut niveau de cohérence de processus. TELFORMULA ALD High-K offre également un outil automatisé de chargement et de déchargement des plaquettes pour faciliter le fonctionnement, un progiciel informatique pour les simulations de processus et une conception modulaire pour faciliter la mise à niveau et l'extensibilité des outils. Avec un logiciel complet et facile à utiliser, la machine est conçue pour fonctionner avec une variété de substrats, ce qui en fait un choix idéal pour une large gamme d'applications électroniques industrielles et grand public. Offrant haute performance, flexibilité et précision, TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K est un choix idéal pour les applications de gravure avancées.