Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9154830 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K
Vendu
ID: 9154830
Taille de la plaquette: 12"
Vertical PCVD furnaces, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K est un graveur/asher conçu pour la lithographie avancée et la microfabrication. Ce graveur-asher est équipé d'un outil de dépôt réactif atmosphère à haute performance et à contrôle de précision qui permet une gravure précise et précise dans un environnement sous vide. TEL TELFORMULA ALD High-K est capable de manipuler des environnements à basse et haute pression. Cela permet la gravure des systèmes physiques et chimiques. La gravure est réalisée avec un gaz réactif afin d'assurer une vitesse de réaction constante et une gravure uniforme. Le ALD High-K comprend également un « système de contrôle dynamique » breveté qui règle automatiquement le débit de gaz, la température et la pression ainsi que le temps de dépôt pour produire un processus de gravure finement contrôlé avec une large gamme de paramètres de gravure. Ce graveur/asher avancé est entièrement fermé et offre une précision exceptionnellement élevée de la vitesse de gravure. La température et la composition de l'environnement peuvent également être configurées avec précision de sorte qu'une variété de matériaux peuvent être gravés avec le même procédé. TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K est capable de graver à la fois des matériaux de couche standard et mince. Le procédé de gravure est extrêmement efficace avec un faible coût des consommables et une faible consommation d'énergie. La gravure peut être configurée pour graver une large gamme de rapports d'aspect avec une sous-coupe minimale et sans oxydation. TELFORMULA ALD High-K a été utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, d'IC, de PCB et de MEMS. Ce graveur/asher polyvalent est également utilisé dans le prototypage rapide, l'impression 3D, la nanotechnologie et d'autres applications de fabrication avancées. Le ALD High-K comprend plusieurs caractéristiques de sécurité avancées pour assurer un fonctionnement sûr, y compris la protection contre les températures excessives, l'arrêt automatique lorsque le niveau de O2 est trop bas et l'isolation à haute température. L'graveur/asher comprend une gravure en une seule étape et en plusieurs étapes pour les processus longs et courts. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K est un graveur/asher de pointe conçu pour la lithographie avancée et la microfabrication. Ce graveur/asher avancé est capable de produire des résultats de gravure très précis en ajustant le débit de gaz, la température et la pression dans un environnement sous vide. Ce graveur/asher est également utilisé dans diverses applications, y compris les semi-conducteurs, les CI, les PCB et les MEMS.
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