Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telformula ALD High-K #9282599 à vendre en France
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Vendu
ID: 9282599
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Vertical LPCVD Furnace, 12"
VCM-5D-012L Heater
Maximum operating temperature: 300°C
ART Control
N2 Load lock
Wafer type: Si SEMI STD-Notch
(50) Production wafers
Loading area light: White (LED)
RCU Duct length FNC to RCU: 20m
Chemical prefilter hydrocarb
Chemical prefilter location: FNC Top
Dry pumps missing
Wafer / Carrier handler:
Carrier type: FOUP / 25-Slots SEMI STD
ENTEGRIS A300 FOUP
Carrier stage capacity: 10
Info pad A,B: Pin
Info pad C,D: Pin
Fork material: Al2O3
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Air intake point: Top
Gas distribution system:
IGS Type: IGS 1.5" W-Seal rail-mount
FUJIKIN IGS System
Tubing bends: <90°C
PALL IGS Final filter
IGS Regulator: CKD
HORIBA STEC IGS MFC Digital
HORIBA SEC-G111 IGS MFC For low flow N2 purge
IGS Press transducer: Nagano
HORIBA STEC LSC-F530 Liquid source vapor system
For ZAC HORIBA STEC TL-2014
Auto refill system TMA: AIR LEQUIDE / CANDI
Auto refill system ZAC: AIR LEQUIDE / CANDI
OP-500H-RE1 Ozone delivery system
Injector O-Ring material: DU353
Gas facilities:
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas VENT Connection point: Bottom connection
Exhaust VENT Connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust:
Vacuum gauge pressure controller: MKS Capacitance manometer (Hot)
Vacuum gauge press monitor 133 kpa: MKS Capacitance manometer (Hot)
Vacuum gauge pump monitor: MKS Capacitance manometer (Hot)
CKD VEC-VH8-X0110 Main valve
VYX-0279-CONT Controller
EDWARDS iXH-1820T Pump
EDWARDS TPU Abatement system
Type: Burning type
Exhaust box: Wide type (1200mm)
Exhaust O-Ring material: DU353
FNC Power box: 30m
FNC RCU: 30m
Power box RCU: 30m
Power box pump unit: 30m
Power box refill system: 30m
Host communications: Comply with GJG
Equipment host I/F Connection: Power box top HSMS (10Base-T/100Base-TX)
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Lower and upper
PIO I/F Location: FNC Top
PIO: TEL
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
Carrier ID Reader writer type: RF
CIDRW Lower L/P: Read
CIDRW Upper L/P: Read
CIDRW FIMS: Read / Write
CIDRW: HOKUYO DMS-HB1-Z Series
CIDRW Tag orientation: Vertical
Customized management signals: PT / Water
Interface:
Signal tower model: LCE Series
Signal tower colors: Red / Blue / Yellow / Green
Signal tower location: Front for (10) Stockers (Left)
Front operation panel
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel Installed
Indicator type: HOKUYO DMS-HB1-Z series
Operator switch: Operator access / White cover with orange light
Pressure display unit: MPa / Torr
Cabinet Exhaust pressure display: Pa
Power:
Power cable input entrance loc: Power box top
Power supply:
3 Phase connection type: Star connection
200/400 VAC, 60 Hz, 3 Phase
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telformula ALD High-K est un graveur/asher de pointe conçu pour la fabrication avancée d'appareils électroniques. Cet équipement est conçu pour assurer une gravure et un cendrage uniformes des films ultra minces avec une précision allant jusqu'à +/- 15A, offrant des performances de fabrication supérieures. Avec une empreinte réduite et une hauteur de 21cm seulement, TEL Telformula ALD High-K a une utilisation supérieure à celle des autres cendres, ce qui le rend idéal pour les applications nécessitant une gravure de haute précision. TOKYO ELECTRON Telformula ALD High-K dispose d'un UIC avancé (Chambre Interface Unit) qui lui donne des capacités de gravure et d'ashing élevées sur une vaste zone de processus. En combinant basse pression, haute température et faible budget thermique, ce dispositif est capable de créer des structures complexes et des caractéristiques à la fois répétables et contrôlables, fournissant des résultats supérieurs. De plus, Telformula ALD High-K est capable de produire des motifs plus complexes avec des masques d'injection et d'offrir la possibilité de générer des caractéristiques plus fines en utilisant la géométrie de ligne et d'espace. TEL/TOKYO ELECTRON Telformula ALD High-K a un mode plasma pulsé intégré avec une fréquence de résonance réglable qui augmente la vitesse de gravure tout en diminuant le temps de gravure global. Cela permet un temps de retournement plus rapide pour une variété de films minces et d'applications. De plus, TEL Telformula ALD High-K dispose de systèmes de chargement et de contrôle de qualité entièrement automatisés pour un meilleur contrôle et une meilleure répétabilité des processus. TOKYO ELECTRON Telformula ALD High-K est conçu pour être durable et fiable avec un entretien périodique seulement une fois par an pour les applications les plus exigeantes. Ce dispositif est également conçu pour être compatible avec une variété de matériaux tels que les métaux, les alliages et la céramique, ce qui lui donne une plus grande polyvalence pour les fabricants avec des exigences de processus variées. Dans l'ensemble, Telformula ALD High-K est un graveur/asher fiable et précis conçu pour une variété d'appareils électroniques modernes avec des capacités de contrôle de processus supérieures. Il offre une grande variété de modes de gravure et d'ashing avec la capacité d'ajuster la fréquence de résonance, permettant un meilleur contrôle du processus et des temps de retournement. TEL/TOKYO ELECTRON Telformula ALD High-K est conçu pour être durable et fiable et offre une compatibilité avec une variété de matériaux, offrant aux fabricants une plus grande polyvalence pour la production.
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