Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9311152 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K est un graveur/asher conçu pour les procédés d'emballage avancés, la fabrication de niveaux de plaquettes et la lithographie pour obtenir une résolution ultra élevée et des motifs supérieurs sur les substrats à haut rapport d'aspect. Cet etcher utilise un équipement de gravure à double canon, alimenté par un canon avancé à faisceau d'électrons pulsés qui permet un balayage incident-faisceau plus rapide et un meilleur contrôle du rapport de phase du faisceau d'ions. Il dispose d'un contrôle vertical avancé de la température du substrat, permettant une gravure précise sur une large gamme de substrats. Le procédé de gravure est assisté par une atmosphère de gaz inerte, offrant une plus grande sélectivité de gravure pour les matériaux de plus haut k. En outre, l'etcher dispose d'une capacité unique de focalisation du faisceau d'électrons qui assure une couverture uniforme, pour un excellent balisage des vias et contacts traversants. Il est idéal pour les applications nécessitant une couverture uniforme sur de grandes surfaces. De plus, il offre d'excellentes caractéristiques de lisse et de passivation sur les surfaces de gravure, sans masque ni résistance. L'etcher dispose d'un système turbo-pompe qui assure une évacuation rapide de la chambre de gravure, ce qui augmente le débit et réduit les temps d'arrêt. L'unité dispose également d'une machine de refroidissement avancée pour assurer des températures uniformes du substrat lors de la gravure. L'outil de refroidissement réduit également la puissance électrique nécessaire à la gravure en diminuant la charge du substrat. L'etcher est capable de traiter une grande variété de matériaux tels que les métaux, les oxydes, les nitrures et les polymères. Il dispose d'un actif avancé d'acquisition et de traitement de données, permettant une communication facile avec les bibliothèques numériques et fournissant aux utilisateurs un contrôle de processus complet pour la gravure et le recuit. Le modèle est compatible avec la plupart des principaux paquets CAO et fonctionne sur les systèmes d'exploitation Windows et Linux. En résumé, TEL TELFORMULA ALD High-K est un graveur/asher conçu pour la gravure et le façonnage de procédés d'emballage avancés, la fabrication de niveaux de plaquettes et la lithographie pour obtenir une résolution ultra élevée sur les substrats à haut rapport d'aspect. Il est équipé d'un équipement avancé de gravure à double canon, d'une atmosphère de gaz inerte, d'un système de refroidissement et d'une turbomachine. La machine est compatible avec les paquets CAO et fonctionne sur les systèmes d'exploitation Windows et Linux, ce qui la rend idéale pour une gamme d'applications.