Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide #9294226 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxyde est une plate-forme de gravure à sec avancée adaptée à la fabrication de dispositifs IC avancés. Il combine des techniques de gravure traditionnelles et des technologies d'oxydation avancées pour fournir des solutions de gravure précises pour la fabrication de structures complexes sur un large éventail de matériaux. Le graveur-asher est constitué de deux chambres de travail adjacentes, toutes deux sous vide : la chambre inférieure est la chambre de gravure et la chambre supérieure est la chambre d'oxydation. La chambre de gravure contient deux magnétrons indépendants qui sont utilisés pour la délivrance du gaz de gravure et la génération de plasma haute densité. Cette chambre peut être utilisée pour graver des matériaux tels que des métaux, des matériaux organiques et des diélectriques en raison de ses densités ultra-élevées. La vitesse de gravure est précise et répétable d'un échantillon à l'autre. La chambre d'oxydation utilise le dépôt par couche atomique (ALD) pour créer une couche d'oxyde sur n'importe quelle zone choisie. Les matériaux de dépôt peuvent être adaptés au niveau de protection nécessaire ainsi qu'au substrat spécifique. La fonction ALD tophat assure également l'uniformité de la zone gravée. TEL TELINDY IRAD ALD Oxyde graveur/asher dispose également de nombreux processus tels que l'orientation de la plaquette, le chauffage et le refroidissement du substrat, la mesure du profil de gravure et la répétabilité du procédé. Son interface logicielle a intégré la fonction de gestion des recettes qui assure la sécurité et la compatibilité avec chaque processus. C'est un outil fiable et robuste avec un contrôle de précision incroyable de tous les paramètres nécessaires. La technologie d'oxydation et de gravure ALD utilisée dans TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxyde graveur/asher en fait l'outil parfait pour la gravure et le dépôt de haute précision. Il est extrêmement convivial et fournit une technologie de nivellement avancée pour assurer une gravure et un dépôt reproductibles et précis. Il peut être utilisé pour une variété de substrats tels que les métaux, les matériaux organiques et les diélectriques, et ses jeux de fonctionnalités avancés en font un excellent outil pour la fabrication de dispositifs.