Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride #9219405 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Nitrure (TELINDY) est un graveur/asher conçu pour le dépôt de films intermétalliques d'oxyde, de nitrure ou de métal. C'est un outil polyvalent qui peut être utilisé pour créer une multitude de composants de circuits intégrés à haute température. L'équipement TEL TELINDY Nitrure offre un traitement automatisé et des contrôles programmables des recettes. Il est livré avec un ensemble complet de caractéristiques et d'accessoires qui comprennent un four propriétaire, un système à vide élevé, une source de plasma RF ou DC, et jusqu'à deux sources à double mode gaz. L'unité riche en fonctionnalités peut traiter des couches de film d'un quart à un demi micron d'épaisseur avec un contrôle très précis, et produire des films de qualité constante. Le four de la machine TELINDY est capable de chauffer jusqu'à 1200 ° C avec une puissance maximale de 3.2kW. Il dispose d'un espace de chauffage élargi avec un suscepteur réglable ainsi qu'un support de substrat intégré pour une meilleure efficacité de dépôt. L'outil est également équipé d'un actif à vide élevé capable d'atteindre une pression de base de 3x10-7 Torr. La source de plasma est utilisée pour réaliser une gravure de base propre avant le dépôt du film. Un dispositif tel qu'une cage de Faraday ou un mandrin électrostatique peut être utilisé pour contrôler l'activité plasmatique. Ce modèle est alimenté par RF jusqu'à 500 watts ou DC jusqu'à 1200 watts. Les sources à double mode de gaz présentent une variété de types de gaz, y compris Ar, H2O2, O2, SiH4 et CH4, pour effectuer à la fois la gravure d'oxyde de grille et le dépôt. L'équipement TELINDY est fiable, précis et efficace. Sa technologie avancée de dépôt en phase vapeur (PVD) a été optimisée pour garantir un film de nitrure de haute qualité pour les composants IC de pointe. Les caractéristiques du système en font l'un des systèmes de graveur/asher les plus populaires dans l'industrie des circuits intégrés.