Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9194459 à vendre en France

ID: 9194459
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Vertical LPCVD furnace, 12" 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde est un équipement de gravure et d'ashing très polyvalent capable de fonctionner dans un environnement humide et sec. TEL TELINDY Oxyde est conçu pour traiter une variété d'applications de processus, tels que la gravure d'oxyde, le cendrage d'oxyde, et la planarisation. TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde système dispose d'une unité entièrement automatisée pour les processus de gravure et de cendrage efficaces. Grâce à ses fonctions automatisées, associées à une puissante source de plasma thermique et à une machine efficace de distribution de gaz, TELINDY Oxide Tool est bien adapté à diverses situations de production et applications. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxyde etcher/asher offre une flexibilité de processus complète incluant des taux de gravure élevés, un fonctionnement à basse température et de longs temps de gravure. TEL TELINDY Oxyde actif est programmé pour graver et comme utilisant un large éventail de paramètres de processus pour permettre à l'utilisateur de personnaliser les conditions de processus pour leurs besoins spécifiques. Le modèle oxyde est capable de graver à sec à température contrôlée à plus de 1500 ° C et est capable de produire des résultats de haute qualité à des taux de gravure anisotropes, isotropes ou ultra-sélectifs. L'équipement Oxyde intègre également une source de plasma avancée et un système de distribution de gaz pour créer un processus de gravure très efficace. TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde offre une large gamme de technologies habilitantes pour les processus de gravure et d'ashing. Il dispose d'une technologie brevetée de balayage des gaz électrodynamiques pour contrôler la dispersion des gaz pendant la gravure. De plus, sa source de plasma comprend plusieurs cartouches spécialisées conçues pour produire des gravures et des cendres de haute qualité. Enfin, ses composants de transport de plaquettes à grande vitesse fournissent un débit de charge/déchargement de plaquettes rapide ainsi qu'une régulation de la température par thermos et un contrôle précis du débit de gaz pour le chauffage et le refroidissement spécialisés. La machine TELINDY Oxyde dispose également d'un outil de surveillance avancée des processus qui permet de surveiller en temps réel les paramètres du processus de gravure et d'ashing. Cet atout avec ses capacités de contrôle des processus wafer-by-wafer permet une meilleure optimisation des processus, un rendement accru et de meilleures performances. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde modèle offre des performances exceptionnelles, la fiabilité, et la valeur dans les processus de gravure et d'ashing. Rentable et efficace, l'équipement Oxyde est parfait pour les applications où la précision et la cohérence dans la gravure des films et l'ashing sont essentielles. Avec ses fonctions avancées de contrôle des procédés, TEL TELINDY oxyde système fournit la gravure et le cendrage les plus efficaces et précises disponibles dans l'industrie aujourd'hui.
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