Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9196076 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxyde est un graveur/asher utilisé pour graver ou aspirer des couches d'oxyde métallique à partir de surfaces de matériaux tels que des substrats semi-conducteurs et des plaquettes. Il est composé de deux chambres : la chambre de traitement principale et la chambre de réaction. La chambre de traitement principale est équipée d'une source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR). Cette source est chargée de générer du plasma commandé par ECR qui est ensuite utilisé pour effectuer les processus de gravure et de cueillette. La chambre de réaction a une version modifiée de la source de plasma à couplage inductif (ICP) utilisée conjointement avec la source ECR. Cette configuration à double source permet une gravure à sec très précise et efficace. Les sources ECR et ICP génèrent un plasma RF d'ions et de radicaux, formé d'un mélange d'oxygène, d'argon et d'autres gaz qui sont introduits dans la chambre de traitement. Ce plasma est ensuite utilisé pour graver ou soutirer les couches d'oxyde métallique de la surface de substrats comme des plaquettes semi-conductrices. Une fois la couche d'oxyde éliminée, la qualité de la couche et la qualité du produit final sont améliorées. La profondeur et la vitesse de gravure/ashing sont réglables et peuvent être ajustées en changeant la pression, la puissance et le mélange gazeux à l'intérieur de la chambre de traitement. TEL TELINDY oxyde est un graveur/asher efficace et fiable, capable de traiter une grande variété de matériaux aux niveaux Nano et micro. Il convient pour les métaux, la céramique et les matériaux semi-conducteurs. Il offre une faible densité de défauts dans les substrats, un débit élevé et une qualité de surface supérieure. Il peut être utilisé pour mincir ou manipuler des plaquettes d'épaisseurs comprises entre 50 et 500 µm, et est particulièrement utile pour la fabrication de dispositifs à mémoire empilée 3D. TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde dispose d'une variété de caractéristiques de sécurité pour la protection des opérateurs et des procédés. Il s'agit notamment d'une protection par point de rupture, qui surveille l'état de fonctionnement, d'un clavier et d'un système d'alarme, d'une protection contre la surpression et d'une caméra d'imagerie thermique couleur pour surveiller la température de la chambre de traitement. En bref, TELINDY Oxyde est un graveur/asher efficace, fiable et polyvalent qui est capable de manipuler une grande variété de matériaux aux niveaux Nano et micro. Il offre sécurité, précision et efficacité et est compatible avec de nombreuses recettes et matériaux de processus.