Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233211 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide
ID: 9233211
Taille de la plaquette: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde est un graveur/asher utilisé pour une variété de procédés de gravure dans différentes industries. C'est une combinaison d'un graveur en phase gazeuse et d'un asher électrochimique, ce qui le rend très polyvalent. TEL TELINDY oxyde est capable d'une large gamme de modulation et de contrôle de processus. Il est très efficace et peut gérer des processus de gravure tels que le dépôt sélectif de photorésist et l'ablation laser de couches épi dans l'industrie de la microélectronique. Le dispositif est capable d'atteindre un intervalle de gravure de 200 nm et ses vitesses de gravure sont aussi élevées que 80 nm/min. TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde a plusieurs caractéristiques uniques qui le rendent idéal pour une utilisation en microélectronique. Il dispose d'un système d'oxydation thermique à basse température qui permet un contrôle précis de la température pendant le processus de gravure. Cette capacité à basse température réduit le risque de surchauffe et permet ainsi d'améliorer la stabilité du procédé. Le dispositif a également une capacité de contrôle de profondeur de gravure uniforme. Il en résulte une plus grande uniformité de gravure qui aide à minimiser la variation des tailles de fonctionnalités. Il dispose également de capacités actives de nettoyage RF et de pulvérisation qui sont cruciales pour réduire la production de particules. Le dispositif est également capable de graver avec précision des structures à haut rapport d'aspect. Ceci est important pour un large éventail de procédés de gravure qui nécessitent une gravure profonde, comme dans la production de micro-vias. TELINDY Oxyde est un outil fiable et efficace qui peut être utilisé dans une variété d'applications de gravure allant de l'électronique grand public aux appareils biomédicaux. Sa combinaison de gravure en phase gazeuse et de cendrage électrochimique le rend idéal pour graver des structures complexes avec une grande précision. En outre, ses capacités actives de nettoyage RF et de pulvérisation atmosphérique réduisent considérablement le risque de production de particules.
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