Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233213 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide
ID: 9233213
Taille de la plaquette: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxyde est un équipement de graveur/asher développé par TEL/TOKYO ELECTRON pour la production de dépôts de couches minces de haute qualité et de structures complexes multicouches. Le système utilise des technologies de dépôt chimique en phase vapeur et de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) pour déposer des matériaux sur des plaquettes de silicium. Cela le rend adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe et d'instruments utilisés dans la miniaturisation et l'ingénierie des dispositifs de précision. TEL TELINDY oxyde est capable de gravure à sec avec contrôle de précision des paramètres de processus comme les débits et les gaz. Ces paramètres déterminent le profil du procédé de gravure et l'épaisseur du film obtenu. L'unité est équipée d'une chambre de réaction de 4 pouces, permettant le dépôt de plus grandes surfaces de composants de plaquettes de silicium. En outre, la machine est capable de gravure à 2 étages avec une grande précision. La première étape est le processus de gravure de base, qui est utilisé pour créer la structure de base et la forme des composants tandis que la seconde est le processus de gravure de haut pour affiner les détails. Une gravure utilisant TOKYO ELECTRON TELINDY oxyde est très précis, que ce soit avec un procédé de gravure monocouche ou multicouche. Cela en fait un choix idéal pour la production de substrats à motifs complexes nécessaires à une utilisation dans des appareils tels que les LCD, les CCD et les MEMS. En termes de sécurité, l'outil TELINDY Oxyde dispose d'un interrupteur d'alimentation d'urgence (EPO) et d'un dispositif d'évacuation d'urgence. L'interrupteur de l'OEB fermera immédiatement le modèle en cas d'urgence, tandis que l'équipement d'évent évacuera l'air et les gaz à l'intérieur. Le système comporte également une chambre de réaction sous pression, ce qui réduit les risques de fuites ou de contamination tout en assurant un environnement réactionnel stable. Enfin, l'unité TELINDY OXYDE TEL/TOKYO ELECTRON est équipée d'un panneau de commande convivial. Cela permet aux utilisateurs d'enregistrer des paramètres et des programmes, d'améliorer le taux de gravure et de reproduire les résultats de gravure pour un développement rapide du produit. En outre, la machine dispose d'un écran tactile LCD moniteur ainsi que des traceurs de données pour surveiller l'injection, les débits de gaz, et l'autonomie de pression. Dans l'ensemble, TEL TELINDY Oxyde est un atout avancé de graveur/asher capable de réaliser des gravures précises et de haute qualité avec des structures complexes multicouches. Ses capteurs et systèmes de surveillance garantissent que les utilisateurs ne rencontreront aucun problème comme les fuites de gaz ou la contamination. En outre, son panneau de contrôle convivial garantit que les paramètres du processus sont facilement suivis et modifiés.
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