Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9253819 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide
ID: 9253819
Taille de la plaquette: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxyde (souvent abrégé TEL Oxyde) est un graveur à plasma sec et asher de pointe de TOKYO ELECTRON et TEL/TOKYO ELECTRON. TEL Oxyde est l'outil idéal pour la gravure d'oxyde métallique de haute précision, le cendrage d'oxyde et le nettoyage de surface. TOKYO ELECTRON Oxyde est unique en ce qu'il collimate le faisceau de plasma juste avant le substrat créant une distribution uniforme de l'oxygène et d'autres gaz réactifs, ce qui conduit à un profil de gravure cohérent. Cela fait de TEL/TOKYO ELECTRON oxyde un favori pour la gravure des métaux et des oxydes métalliques qui nécessitent des motifs de gravure profonds et volatils. TEL Oxyde est un graveur à sec à chambre unique qui simplifie le processus de gravure. Il utilise des outils monobloc pour graver des substrats d'oxyde métallique. Il utilise également une tête de douche à distance pour permettre la gravure oblique de l'incidence et pour diriger le faisceau de gravure vers les zones qui nécessitent une gravure accrue. Ses caractéristiques comprennent un balancier électronique intégré, permettant un contrôle précis du processus. TOKYO ELECTRON oxyde a également des ajustements automatiques pour les niveaux d'oxygène versus arsenic pour un fonctionnement fiable et des résultats de processus améliorés. En outre, il est équipé d'un système antistatique, offrant une grande protection contre les champs électriques statiques. TEL/TOKYO ELECTRON oxyde dispose également de systèmes intégrés de régulation de la température et de distribution de gaz, deux composants essentiels nécessaires à la gravure et à l'oxydation du plasma. Le système de régulation de température aide à stabiliser la température pour assurer des résultats de gravure cohérents. Le système de distribution de gaz assure une injection optimale d'une répartition homogène du gaz réactif dans toute la chambre. En outre, TEL Oxyde a la polyvalence inégalée pour couvrir une large gamme de processus de gravure. Il supporte des applications de gravure de petite taille telles que celles utilisées dans les dispositifs MEM ainsi que des applications de gravure plus grandes et plus complexes telles que celles utilisées dans les transistors à couches minces et d'autres applications haut de gamme. TOKYO ELECTRON Oxyde est idéal pour les clients qui ont besoin de capacités de gravure fiables et puissantes pour les substrats métalliques et oxydes métalliques. Ce graveur/asher sec de pointe offre des caractéristiques et des capacités de pointe dans l'industrie et est l'outil parfait pour la gravure de précision et l'oxydation.
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