Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293597784 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K est un type de graveur ou asher qui est utilisé pour diverses techniques de dépôt et de traitement de couches minces. Il est principalement utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. TEL TELINDY Plus ALD High-K est équipé d'un équipement de gestion de recette très stable et reproductible qui permet la reproductibilité dans le processus. L'etcher a également une conception de faible nombre de particules qui assure une fabrication propre. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K est un système complet de dépôt et de gravure de couches minces. Il est compatible sous vide jusqu'à 1.3x10-6 Torr et dispose d'un lot multi-plaquettes. L'etcher est également équipé d'une machine multi-chambres qui peut effectuer des techniques de traitement séquentiel et de dépôt avec une productivité et une livraison améliorées. L'outil contient également plusieurs lignes sources. Les lignes sources du plasma à couplage inductif (PIC) permettent des processus plasmatiques directs, tels que la gravure, le cendrage et le dépôt. La source de ligne magnétique a également une capacité de gravure ionique réactive (RIE). La chambre dispose d'une chambre de température programmable contrôlée par recette qui est conçue pour le traitement sous vide ultra-élevé. La chambre présente également diverses caractéristiques de sécurité, telles que des capteurs O2 et H2, un moyen d'interception de la chambre de réaction et un arrêt de production lors de la contamination. Le modèle comporte en outre un équipement de journalisation des données qui permet d'enregistrer les résultats de traitement et de dépôt des plaquettes. TELINDY Plus ALD High-K est un système de gravure fiable qui peut s'intégrer efficacement dans n'importe quelle ligne de production de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil polyvalent qui peut être utilisé pour diverses tâches de gravure, de cendrage et autres dépôts en couches minces. Il dispose d'une infrastructure robuste et des caractéristiques de sécurité qui assurent une production propre et efficace.