Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293644138 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K est un graveur/asher développé par TEL, Ltd. (TOKYO ELECTRON). Cet outil de gravure avancé est utilisé pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs avec un haut degré de précision. Ses caractéristiques avancées le rendent adapté à un large éventail de processus de fabrication, y compris, mais sans s'y limiter : la formation de dispositifs de haute précision, y compris les tranchées, les rainures et les structures ; gravure plasma des plaquettes semi-conductrices ; et dépôt en couche atomique (ALD) d'un matériau diélectrique de k élevé. TEL TELINDY Plus ALD High-K est un graveur/asher qui offre un contrôle précis des paramètres de gravure et des temps de cycle de processus. Il utilise une source de gravure par pulvérisation magnétron pour déposer une couche de gravure ionique réactive (RIE) à la surface de la plaquette. Cette couche RIE est ensuite gravée à l'aide d'une cathode rotative pour créer la structure désirée. La profondeur exacte de la gravure est réalisable, avec un contrôle géométrique supplémentaire dans la gamme des nanomètres. En outre, l'électronique de TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K optimise les paramètres du procédé de pulvérisation proprement dit pour obtenir une précision géométrique parfaite de la fabrication des couches. L'électronique comprend également trois sources contrôlées indépendamment, permettant un flux de processus optimal et reproductible. L'outil peut également être utilisé pour le dépôt en couche atomique (ALD) de matériau diélectrique de haut k, du fait de sa capacité à contrôler avec précision le dépôt du film. Le procédé ALD utilise des précurseurs gazeux pour créer une monocouche, tandis que la technologie de plasma couplé au courant alternatif de l'outil augmente la précision de la formation des couches. Les épaisseurs globales des couches formées par le procédé ALD peuvent être déterminées avec précision par l'outil et peuvent ainsi être ajustées avec précision. TELINDY Plus ALD High-K offre une excellente répétabilité et uniformité des dépôts sur toute la surface de la plaquette. En tant que tel, l'outil est adapté à la fabrication et à la fabrication de plaquettes avec une précision et une efficacité supérieures aux méthodes traditionnelles. En utilisant ce graveur/asher, les fabricants de dispositifs semi-conducteurs peuvent produire des produits avec de meilleures performances, un rendement optimal et des résultats de haute qualité et fiables à chaque cycle.