Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293665667 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K etcher/asher est un équipement de pointe pour la création de couches minces et d'interconnexions de haute qualité sur des substrats semi-conducteurs. Il utilise le dépôt par couche atomique renforcée par plasma (ALD) pour déposer sur des substrats des matériaux de haut k - matériaux dont les constantes diélectriques dépassent celles du dioxyde de silicium (SiO2). TEL TELINDY Plus ALD High-K est une unité de gravure à part entière, capable de créer et d'éclaircir des films en une seule étape. Le graveur est conçu pour être utilisé avec des films high-k qui ne pourraient pas être utilisés dans une machine de gravure traditionnelle à sec, mais peut maintenant être conçu et gravé avec TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K. L'etcher dispose d'une grande chambre de processus équipée de matériel de gravure et de dépôt avancé, ainsi que d'un outil de contrôle de processus intelligent qui fournit une surveillance et un contrôle précis des processus. La chambre de process est construite en acier inoxydable et est capable de contrôler chaque paramètre de process de manière sûre et efficace afin d'obtenir des résultats de haute qualité. L'actif comprend également une optique de pointe et des équipements de diagnostic, y compris un microscope numérique d'imagerie, qui permet aux utilisateurs de garder un œil attentif sur le processus de dépôt en couches minces. L'etcher est alimenté par un modèle propriétaire de distribution de gaz, qui permet un contrôle précis de la vitesse de dépôt, de l'épaisseur du film, de l'uniformité et d'autres paramètres importants. Il est également capable de déposer divers matériaux tels que le dioxyde de silicium, l'oxyde d'aluminium, l'oxyde de tantale et le nitrure de titane, entre autres. En outre, l'équipement est compatible avec une variété de substrats, y compris ceux en silicium, arséniure de gallium, diélectrique bas k, et plastique. En plus de ses capacités de gravure, TELINDY Plus ALD High-K etcher/asher offre également des capacités de revêtement et de passivation. Il est équipé d'un logiciel de dépôt avancé qui permet aux utilisateurs de sélectionner différentes recettes de processus pour différents processus. Le logiciel permet également aux utilisateurs de créer et d'enregistrer rapidement des processus de gravure et de dépôt, leur permettant de passer rapidement d'un processus à l'autre en fonction des besoins du travail. De plus, les fonctions de sécurité avancées du système, y compris les scanners à faisceau d'ions et un nettoyeur Foup, garantissent un fonctionnement sûr et fiable de l'appareil pendant toute la durée de vie de l'outil. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K etcher/asher est un outil puissant et fiable pour le traitement de film high-k. Le graveur/asher offre un contrôle précis du processus de dépôt, ainsi qu'une grande variété de matériaux et de substrats pour la gravure et le dépôt, ce qui en fait un choix idéal pour la recherche et le développement avancés de semi-conducteurs.