Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #9128140 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K est un graveur/asher conçu pour les procédés avancés de gravure et de cendrage. Il est conçu pour des matériaux tels que les oxydes bas K, les empilements diélectriques haut K, et la construction de lignes/espaces. C'est un équipement complet qui combine à la fois gravure et cendre avec un contrôle de processus avancé pour obtenir un traitement plus rapide et plus précis. TEL TELINDY Plus ALD High-K dispose d'une unité de micro-four parabolique unique qui est capable d'une gamme extrêmement large de températures de processus qui est optimisée à des températures élevées pour fournir des taux de gravure et d'ashing élevés. La machine est également équipée d'un contrôle de processus avancé pour assurer une meilleure tolérance et répétabilité du dispositif. Il dispose de plusieurs séquenceurs de processus automatiques (APS) qui peuvent être utilisés pour programmer rapidement les processus requis et étendre la polyvalence et la flexibilité de l'outil. Il dispose également de deux moniteurs de masse de quartz indépendants et très sensibles et d'un contrôle de gravure oxydant-réducteur (OU) pour assurer une répétabilité et une uniformité élevées des processus. L'actif dispose également d'un mécanisme avancé de contrôle de la contamination (MCC) pour maintenir les niveaux les plus élevés de propreté des plaquettes. Le processus CME est un ensemble unique de technologies exclusives pour prévenir la récupération rapide et maintenir un niveau élevé de propreté du plasma pendant le processus. Il a également une conception brevetée de tube ouvert et douche à gaz pour minimiser la contamination et les produits chimiques, tout en améliorant la performance des processus. Le modèle dispose en outre d'un équipement sous vide hautement intégré qui comprend la pompe principale haute performance, la pompe secondaire, la pompe turbo moléculaire, et les vannes de commutation de vide qui sont tous conçus pour un fonctionnement haute performance et une contamination minimale. Il dispose également d'un système automatisé de mesure des particules in situ qui peut surveiller, mesurer et enregistrer la taille des particules à divers endroits dans la zone du processus. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K est conçu pour fournir une gravure et un cendrage fiables et reproductibles pour une fabrication avancée d'appareils. Il est adapté pour deux pouces et des diamètres plus grands avec des vitesses de gravure/cendrage jusqu'à des vitesses élevées, ainsi que pour l'oxyde bas-K, la pile diélectrique haute-K et l'espace de ligne à base de wafer haute répétabilité de processus et la tolérance du dispositif. Avec sa gamme unique de caractéristiques, il est un graveur/asher idéal pour de nombreuses applications avancées de fabrication d'appareils.