Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818326 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD (Atomic Layer Deposition) est un équipement de gravure robuste qui offre une gamme de capacités de traitement de semi-conducteurs pour les applications au niveau des plaquettes et des appareils. Il est très intégré avec une large gamme de composants tels que chambre degas, susceptor, loadlock, robot d'effecteur final, tête de douche multi-chambres, chambre de réaction et mini-environnement. Ce système est utilisé pour des applications telles que le dépôt de matériau, la gravure ionique réactive, le recuit thermique et le recuit thermique rapide. TEL TELINDY Plus ALD offre une uniformité de gravure supérieure et une excellente répétabilité du procédé sur toute épaisseur du substrat, quelle que soit la taille de la plaquette. Cette unité a une capacité de régulation de température en boucle fermée, permettant de contrôler précisément la température lors des opérations critiques de gravure. Il offre une grande surface de traitement par lots qui peut accueillir de grandes plaquettes et une production à haut volume. De plus, son procédé intégré de gravure en plusieurs étapes permet la formation de structures plus complexes pour un procédé de fabrication avancé. En plus de ses puissantes capacités de gravure, TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD offre également des outils logiciels bien développés et fiables. Il offre un gestionnaire de recettes intégré avec un contrôle d'exécution ouvert, un processus intégré en plusieurs étapes, une surveillance en temps réel de la machine de four, et une surveillance améliorée de la livraison de gaz. En utilisant cet outil, les ingénieurs de processus peuvent facilement optimiser le processus de gravure pour atteindre un débit plus élevé avec un minimum de temps d'arrêt. TELINDY Plus ALD est également conçu pour fournir des résultats de gravure de haute qualité. Il est capable de générer des processus de gravure de film épais au niveau du nanomètre. De plus, il dispose d'une source optionnelle d'énergie radiofréquence (RF) de grande puissance qui permet une gravure à haut débit. L'actif est également équipé d'un contrôle laser avancé pour les gravures de précision des substrats. En outre, il comprend un contrôleur de conversion de fréquence unique qui permet de fonctionner à l'unisson plusieurs fréquences de gravure différentes. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD offre une solution de gravure exceptionnelle pour tout processus au niveau de la plaquette ou de l'appareil. Avec ses outils logiciels complets et ses capacités de traitement avancées, ce modèle fournit une solution de gravure fiable et puissante pour la recherche et la fabrication. Ses commandes de gravure de précision, son procédé de gravure à haut débit et ses résultats de gravure de haute qualité en font un choix idéal pour toutes les applications au niveau de l'industrie.