Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818327 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD est un graveur/asher conçu pour le dépôt précis de couches minces pour la fabrication de circuits intégrés. Il utilise Atomic Layer Deposition (ALD) pour créer des couches minces de dimensions conformes dans la gamme de 2-50nm. Ceci permet la création de structures aux dimensions précises et à très haute conformité. TEL TELINDY Plus ALD dispose d'une chambre de traitement basse pression et basse température et d'un équipement d'automatisation et de contrôle avancé. La chambre elle-même est un système de vide qui est tempéré et contrôlé en pression pour assurer une gravure et un dépôt appropriés. L'unité de contrôle automatisé est mise en place pour surveiller et contrôler les différents paramètres du processus ALD tels que la température, la pression, le débit de gaz et la vitesse de dépôt. Afin d'assurer un contrôle précis du processus ALD, TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD est équipé d'une machine automatique de distribution de gaz qui peut contrôler précisément le flux des gaz de réaction. En outre, l'outil dispose d'un atout d'outillage qui est conçu pour fournir un processus ALD optimal indépendamment de la forme et de la taille du substrat. L'outillage est conçu pour utiliser à la fois des procédures manuelles et automatisées. Cela permet de travailler avec une variété de substrats dont le silicium, le quartz et le verre. TELINDY Plus ALD dispose également d'un modèle avancé de détection et de suivi de plaquettes pour un contrôle précis du profil du film. Cet équipement est combiné aux autres paramètres du procédé pour contrôler la vitesse de dépôt et l'épaisseur du film. Le système de suivi des plaquettes permet également de contrôler finement le traitement des photorésistances et l'alignement des masques. En termes de sécurité, TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD est conçu pour fonctionner avec un risque minimal de dommages pour le personnel ou l'équipement. Il dispose de caractéristiques de sécurité intégrées telles que les délais de traitement des puces/plaquettes et les limiteurs de pression en cas d'augmentation de pression inattendue. En outre, l'unité est équipée d'une machine d'interception à vide pour assurer une sécurité adéquate en cas d'accident. Dans l'ensemble, TEL TELINDY Plus ALD est un graveur/asher avancé avec de nombreuses fonctionnalités, processus et protocoles de sécurité spécialement conçus pour les applications de dépôt de couche atomique (ALD). Il offre un dépôt précis de couches minces avec des dimensions conformes dans la gamme de 2-50nm, outil automatisé de distribution de gaz, outil d'outillage, wafer sensing and tracking model, et des caractéristiques de sécurité. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD est un excellent équipement pour la fabrication de circuits intégrés et d'autres composants électroniques.