Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818328 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD (Atomic Layer Deposition) est un type de cendrier de précision habituellement utilisé pour synthétiser des couches minces de métaux, d'oxydes, de nitrures et d'autres matériaux. Cet etcher est principalement utilisé dans les applications nanotechnologiques et microélectroniques, où sa capacité à créer des revêtements de haute qualité et d'épaisseur nanométrique est souvent très avantageuse. TEL TELINDY Plus ALD travaille par un processus de réaction chimique séquentielle en phase gazeuse sur une surface de substrat, conduisant à un contrôle considérablement accru de l'épaisseur et de l'uniformité du film. Ce procédé permet la création de structures tridimensionnelles complexes, adaptées à des applications spécifiques. Un système typique est constitué de deux modules sources, d'une chambre de distribution et d'un porte-substrat. Les modules sources du système TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD contiennent une entrée, une chambre de réaction, des soupapes de régulation de débit et des capteurs de température/pression. Chaque module peut contenir jusqu'à 32 produits chimiques et peut être utilisé indépendamment pour des applications simultanées multi-processus. La chambre de refoulement est utilisée pour contrôler les gaz réactifs et les déplacer vers le substrat. Cette chambre est équipée d'un régulateur de débit massique, d'une jauge de vide et d'une série de chicanes de gaz, qui aident à assurer que les gaz de procédé atteignent le substrat avec la pression et l'uniformité correctes. Le porte-substrat permet un contrôle précis de la température du substrat, et est mobile dans le plan Z, permettant le revêtement des échantillons des deux côtés. Le porte-échantillon est généralement chauffé par des chauffages encastrés, avec isolation thermique pour minimiser la perte de température. En contrôlant la délivrance simultanée des composés précurseurs, TELINDY Plus ALD peut enrober un échantillon avec un film extrêmement uniforme, d'épaisseur monocouche. Le procédé est terminé lorsque ces molécules précurseurs réagissent entre elles en surface, conduisant à la réalisation d'un revêtement extrêmement fin et très uniforme. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD etcher est un outil précis et fiable qui permet aux utilisateurs de revêtir une variété de substrats de films précis et d'épaisseur nanométrique. Avec son contrôle précis des variables de procédé et sa grande homogénéité du revêtement, cet graveur donne des résultats précis. Ce dispositif est le mieux adapté aux applications de nanofabrication qui nécessitent des couches précises et uniformes.