Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus anneal #293638716 à vendre en France

TEL TELINDY Plus Recealing (TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher) est une unité de gravure/cueillette de haute précision pour éliminer les photorésistances résiduelles sur les substrats Nanoscale. Il est principalement utilisé pour des applications dans les industries semi-conductrices, MEMS et autres industries microélectroniques. Cette unité est équipée du contrôleur avancé TELINDY Plus avec un panneau tactile LCD de grande capacité. Cela permet à l'utilisateur de configurer de nombreux paramètres de processus avec précision. Ce contrôleur permet un réglage et un étalonnage aisés du temps et des concentrations de gravure chimique, ainsi qu'un contrôle de la température et de la pression dans le réservoir chimique, qui peut être mis en place pour une efficacité optimale. TEL/TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher utilise une technologie de pointe qui offre des taux de gravure chimique supérieurs tout en réduisant la perte de matière. Cela permet la gravure de caractéristiques fines telles que les petites tranchées, les lignes et les contacts avec une grande précision. L'unité fournit également des résultats de gravure uniformes et cohérents avec un haut degré de répétabilité. Il convient aux procédés de gravure par voie humide, tels que RIE, ECR et ICP, ainsi qu'aux procédés de gravure par voie sèche, tels que DRIE, ECR-DRIE et ECR-ICP. Il est également capable d'appliquer des traitements de recuit pour aider à améliorer l'adhérence des matériaux cultivés sur les plaquettes au cours du processus. L'unité est également équipée d'un équipement avancé d'épuration Pol-Pol. Cela réduit la production de déchets pendant le processus de gravure en récupérant le produit chimique du réservoir et en le remettant en circulation. En outre, TEL/TE Tangential Etcher/Asher comprend un système de refroidissement, qui refroidit le mélange chimique pour une sécurité accrue dans le fonctionnement et aide à prévenir la décomposition chimique. TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher dispose d'une unité de vide séparée, utile pour éliminer les processus indésirables comme la gravure à la vapeur. Il dispose également d'un capteur de courant de Foucault, capable de détecter des substrats pendant le processus de gravure et de mesurer avec précision la profondeur de gravure. Cette précision permet d'assurer des résultats cohérents et d'améliorer le rendement du procédé. De plus, l'unité est équipée d'une machine d'alarme embarquée qui avertit de tout dysfonctionnement. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Annealing (TEL/TE Tangential Etcher/Asher) est un outil de gravure/ashing haute performance conçu pour fournir un contrôle précis des paramètres critiques du processus et d'excellentes vitesses de gravure. Grâce à sa technologie de pointe, il est capable de graver une grande variété de substrats et de matériaux, et ses mécanismes intégrés contribuent à réduire la production de déchets et à améliorer la qualité des résultats.