Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxide #293822431 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD oxyde est un graveur/asher avancé conçu pour fournir une gravure plasma haute performance d'une variété de matériaux. L'équipement utilise une source de plasma à couplage inductif (ICP) pour créer un plasma à haute densité capable de traiter un large éventail de substrats, y compris le SiN, le Polyimide, le TiN, le SiO2 et le SiON, à grande vitesse et avec un faible budget thermique. Le système dispose également de capacités avancées de contrôle informatique, y compris un algorithme programmable de détection des points d'extrémité (EPD) pour assurer la cohérence des paramètres de processus de gravure sur plusieurs types de substrat. TEL TELINDY Plus IRAD Oxyde dispose d'une unité de contrôle de puissance hyperfréquence qui permet la modulation directe des niveaux de puissance ICP et RF pour un contrôle précis de la densité du plasma et de la durée de gravure. Ceci assure une gravure contrôlée avec un débit maximum de 180 substrats par heure, ce qui en fait une solution très productive. La chambre de gravure comprend un grand nombre de turbopropulseurs et une dérivation intégrale de la turbopompe, ce qui permet un temps de cycle de processus rapide. En outre, il dispose d'une machine de refroidissement intégrée de plaquettes pour minimiser les dommages thermiques et maintenir la précision de gravure. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxyde est capable de graver à travers une large gamme d'épaisseurs et de matériaux, y compris les métaux, les nitrures, les oxydes, les plastiques et les polymères. Les capacités avancées de programmation/diagnostic permettent la surveillance à distance et l'optimisation automatique du processus de gravure, assurant une productivité maximale. De plus, l'outil est compatible avec plusieurs gaz, y compris N2, Ar, O2 et SF6, permettant des capacités de gravure variées. Les recettes de gravure sont stockées pour un rappel facile et la répétabilité, et peuvent être reliées avec le logiciel de contrôleur TELINDY pour une personnalisation ultérieure. Dans l'ensemble, TELINDY Plus IRAD Oxyde est un graveur/asher puissant conçu pour fournir une gravure rapide, cohérente et précise sur une large gamme de substrats. Ses fonctionnalités avancées et ses capacités de programmation automatisées garantissent des résultats de gravure reproductibles de haute qualité à un taux impressionnant de 180 wafers par heure.