Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Nitride #9243663 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Nitrure (TEL/TENP) est un graveur/asher de haute précision spécialement conçu pour la gravure et l'élimination des films nitrures. Il utilise la technologie du plasma hyperfréquence pulsé, ainsi que des logiciels avancés de contrôle de processus, pour fournir un contrôle de processus précis et la gravure de précision, ainsi qu'un temps de cycle de processus extrêmement rapide. TOKYO ELECTRON/TENP dispose d'une chambre de gravure de haute précision qui peut accueillir une variété de tailles et de formes de substrat. Il utilise un procédé de gravure impulsionnelle par ions réactifs (RIE) pour graver ou retirer les films de nitrure du substrat. Le logiciel avancé de contrôle de processus fournit un contrôle précis du processus de gravure, permettant une large gamme de conditions de traitement de gravure. Le logiciel avancé de contrôle des processus permet également d'optimiser les conditions de traitement, ce qui permet une vitesse de gravure et de cueillette beaucoup plus rapide, ainsi qu'une répétabilité et une uniformité globales améliorées des processus. TEL/TOKYO ELECTRON/TENP grave les films à faible puissance RF et élimine les films nitrures jusqu'à 15-50 nanomètres d'épaisseur. Le procédé de gravure est effectué à différentes températures, telles que la température ambiante, les basses températures, ainsi que les températures chaudes. En outre, TEL/TENP dispose également d'une chambre de processus unique de contrôle de la pression et de la température. Cela comprend un système de contrôle de pression automatisé qui compense la perte de charge dans la chambre, ainsi qu'un système de contrôle de température qui minimise les variations de température possibles. TOKYO ELECTRON/TENP dispose de fonctionnalités avancées telles qu'un système automatisé de contrôle de l'azote qui permet de contrôler précisément la concentration d'azote dans la chambre de gravure. Ceci peut être utilisé pour optimiser les performances de gravure et de cendrage. TEL/TOKYO ELECTRON/TENP dispose également de logiciels avancés de contrôle de processus qui peuvent être utilisés pour surveiller et contrôler tous les paramètres de l'appareil pendant l'exécution du processus. En outre, le logiciel avancé de contrôle des processus comprend également l'autodiagnostic, la gestion des recettes et les capacités de collecte et de prédiction des journaux de processus. TEL/TENP est un graveur/asher extrêmement polyvalent qui est idéal pour une grande variété d'applications et d'industries. Cela comprend la gravure et l'élimination des films de nitrure et d'autres diélectriques sur les plaquettes semi-conductrices, les cellules solaires, les MEMS et d'autres composants. En tant que graveur/asher, TOKYO ELECTRON/TENP est idéal pour enlever les obstacles de gravure, affiner la structure des parois latérales, améliorer l'uniformité diélectrique, et fournir une gravure et un ashing précis. TEL/TOKYO ELECTRON/TENP est également très fiable et facile à utiliser et à entretenir. Cela en fait le choix idéal pour une variété d'industries et d'applications.