Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293640860 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus est un équipement de graveur/asher utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs connexes. Le système est utilisé pour la gravure sèche des couches métalliques, des couches d'oxyde et d'autres matériaux. C'est le graveur à sec/asher le plus avancé pour le traitement des semi-conducteurs et offre un large éventail de technologies, telles que la gravure par plasma, la gravure chimique, la gravure ionique réactive (RIE), la gravure par plasma inductif couplé (ICP), ainsi que la gravure métallique qui peut être utilisée en combinaison avec la gravure chimique humide. TEL TELINDY Plus est une machine personnalisée avec des capacités d'automatisation complètes et peut facilement répondre aux exigences de processus spéciaux. Il utilise une architecture d'outils modulaire pour maximiser le potentiel de ses capacités. L'actif est conçu pour assurer un faible temps d'arrêt et assurer la cohérence des processus. Son modèle de contrôle convivial dispose d'une capacité de surveillance et de contrôle à distance, permettant aux utilisateurs de surveiller le processus à partir d'un emplacement local ou distant. L'équipement TOKYO ELECTRON TELINDY Plus est capable de manipuler un large éventail de matériaux tels que métaux, oxydes, polymères, nitrures et diélectriques. Le système est adapté pour le développement de processus et la production de volume élevé, et dispose d'un processus en boucle fermée qui peut mesurer la vitesse de gravure pendant un processus et ajuster les paramètres du processus en conséquence. L'unité dispose également d'un contrôleur de température de substrat réglable pour contrôler la température du processus de gravure. La machine est équipée d'une variété de composants spécialisés pour répondre à diverses exigences de gravure. Il comprend des caractéristiques telles qu'un outil de gravure haute pression et basse température, un actif de gravure par ions réactifs profonds, un modèle de via profond, un équipement de pulvérisation, un équipement d'implantation ionique et un système de pré-métrologie et de post-métrologie du substrat. Tous ces systèmes sont conçus pour assurer la meilleure répétabilité des processus et fournir une configuration, un fonctionnement et une maintenance faciles. En plus du procédé de gravure, l'unité TELINDY Plus offre également plusieurs autres services, tels que la sublimation, la pulvérisation, la pré- et post-métrologie, l'implant ionique, la gravure chimique humide et les traitements thermiques non destructifs. C'est une machine très polyvalente qui peut être utilisée pour une variété d'applications et de procédés de semi-conducteurs. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus est un outil de graveur/asher sec fiable et à haut rendement qui répond aux exigences environnementales et de procédé les plus exigeantes. Son architecture modulaire offre aux utilisateurs une large gamme de capacités pour le traitement des semi-conducteurs et leur permet d'adapter l'équipement à leurs besoins spécifiques.